Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351462 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör für Halbleiterherstellungsprozesse zum Waferbacken und zur schnellen thermischen Verarbeitung. Es ist in der Lage, bis zu 200mm Wafer pro Lauf mit Prozesstemperaturen bis zu 1200 ° C zu verarbeiten. Der Anwender kann je nach Anwendung aus drei Arten von Heizquellen wählen: Widerstandsheizung, Wechselstromheizung (AC) oder Gleichstrom (DC). Der Ofen verfügt über eine breite Palette von Temperatur- und Durchflusskontrollparametern, die so konfiguriert werden können, dass sie den Prozessanforderungen entsprechen, einschließlich Gasfluss, Druck und Wafertemperatur. Der Ofen ist auch mit einer Vielzahl von Gasfördersystemen kompatibel, einschließlich integrierter In-situ-Massenspektroskopie. Um die Gleichmäßigkeit des Wafers zu gewährleisten, ist TEL A303i mit einem fortschrittlichen PID-Temperaturregelgerät zur präzisen Temperaturregelung ausgestattet. Dieses fortschrittliche System verwendet fortschrittliche Algorithmen, um Temperaturen und Prozessparameter schnell und genau anzupassen und die Gleichmäßigkeit des Wafers während jedes Laufs sicherzustellen. Neben seiner Temperaturregeleinheit verwendet TOKYO ELECTRON A 303 I auch eine Vielzahl von Gaszufuhrsystemen, um eine genaue Filmabscheidung zu erreichen. Eine Gastafel berücksichtigt in - situ Überwachung und genaue Flusskontrolle, während das einheitliche Massenspektrometer berücksichtigt, dass schnelle Gaszusammensetzung/Konzentration von der Prozessatmosphäre kartografisch darstellt. Zur Prozesssteuerung steht auch eine In-situ-Probenahme zur Verfügung. TOKYO ELECTRON A303i bietet ein hohes Maß an Sicherheit während des Betriebs, mit zwei Sicherheitsverriegelungen, die den Strom zum Ofen abschalten, wenn der Deckel geöffnet wird. Eine Sicherheitsabschirmung ist auch als zusätzliche Vorsichtsmaßnahme verfügbar, sowie ein akustischer Alarm, der den Benutzer informiert, wenn ein Grenzwert überschritten wird. Der Ofen umfasst auch eine Reihe von visuellen und akustischen Rückkopplungssystemen, einschließlich eines Anzeigemonitors zur Analyse von Temperaturen und Prozessparametern in graphischer Form sowie zwei Modulen zur Steuerung, Aufzeichnung und Überwachung von Prozessdaten und Parametern in Echtzeit. TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I ist für die einfache Integration in bestehende Produktionssysteme konzipiert und bietet Anwendern eine intuitive Benutzeroberfläche. Seine fortschrittliche Software ermöglicht die Benutzeranpassung vieler Systeme des Ofens, so dass eine einfache und effiziente Bedienung möglich ist. Darüber hinaus verfügt der Ofen über eine optionale Alarmmaschine, die bei Überschreiten eines bestimmten Prozessparameters aktiviert werden kann. Insgesamt ist A 303 I ein zuverlässiger und effizienter Diffusionsofen mit einer Reihe von Funktionen, um den Anforderungen der Halbleiterherstellungsanwendungen gerecht zu werden. Das fortschrittliche Temperaturkontrollwerkzeug und die Palette an Gaszufuhrsystemen liefern präzise und konsistente Ergebnisse und sorgen für Gleichmäßigkeit über den Wafer. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und integrierten Sicherheitssystemen kann A303i ein wertvolles Werkzeug für die Halbleiterindustrie sein.