Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9400223 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON A303i ist ein hochmoderner Diffusionsofen, der auf überlegene Temperaturgleichmäßigkeit und verbesserte Prozesskontrolle ausgelegt ist. Es bietet kritische Temperaturrampen, genaue thermische Verarbeitung und verbesserte Effizienz. Es ist auch mit fortschrittlichen internen Komponenten wie einem Hochleistungs-HF-Verstärker und innovativer Diffusortechnologie ausgestattet, die es für Serien- und Cluster-Werkzeugproduktionsprozesse geeignet machen. TEL A303i verfügt über eine Mehrzonenkonfiguration mit einer großen Heizkammer und zwei abnehmbaren Heizzonen. Es erreicht eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit in verschiedenen Teilen der Kammer. Die Heizkammer kann Temperaturen bis zu 1400 ° C erreichen, wodurch sie für verschiedene Halbleiterherstellungsprozesse wie Glühen, Trocknen, Eintreiben, Oxidation und Nitridieren geeignet ist. Die Kammer verfügt auch über Kantenisolierung sowie leistungsstarke seitliche Heizung, um hohe Prozesswiederholbarkeit zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON A 303 I hat auch verbesserte HF-Leistung Lieferung und Steuerung für verbesserte Wafer-zu-Wafer Gleichmäßigkeit. Es nutzt fortschrittliche RF-Matching-Technologie, um die richtigen Strombündel zu liefern, wodurch HF-induzierte Störungen auf benachbarten Wafern vermieden werden. Diese revolutionäre Steuerung ermöglicht auch eine präzise Temperaturbeschneidung und eine unabhängige Zonenheizung. Ein 303 I kommt auch mit einer breiten Palette von fortschrittlichen Zubehör, wie ein inertes Atmosphäre-Flow-System, eine Inertgaseinheit, eine Handschuhbox und eine LPCVD-Maschine. Das Inertatmosphäre-Werkzeug sorgt für eine stabile chemische Verarbeitung bei Temperaturen bis 1300 ° C. Die Inertgasanlage bietet eine inerte Atmosphäre, um das Einbringen von Verunreinigungen auf die Wafer zu minimieren. Der Handschuhkasten isoliert die Kammer von Umgebungsluft, erhöht die Temperaturgleichförmigkeit und verhindert Oxidation. Schließlich bietet das LPCVD-Modell eine wirtschaftlichere und effizientere Alternative zu PECVD. TOKYO ELECTRON A303i ist ein funktionsreicher Diffusionsofen, der hervorragende Ergebnisse mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Gesamtleistung liefert. Die fortschrittlichen internen Komponenten und das vielseitige Zubehör bieten die perfekte Lösung für Anwendungen in der Halbleiterherstellung.