Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #9097223 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303C ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der von TEL (TOKYO ELECTRON), einem weltweit führenden Hersteller von Halbleiterherstellungsgeräten, hergestellt wird. TEL Alpha 303C hat ein einzigartiges Design, das es zu einer idealen Wahl für Chiphersteller macht, die eine präzise Kontrolle über kritische Prozessschritte benötigen. Der Ofen besteht aus einer Dual-Zone 0,7 Kubikfuß beheizten Kammer mit einer Hochtemperaturgrenze von 1250 ° C. Eine optionale Plasmaoxidationsstufe ist verfügbar, um ESD-bezogene Prozessschritte zu reduzieren. TOKYO ELECTRON Alpha 303C enthält mehrere Funktionen, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit in einer Vielzahl von Prozessschritten unterstützen. Es enthält integrierte Prozesscontroller, die es dem Benutzer ermöglichen, effiziente vorprogrammierte Rezepte ohne manuelle Eingriffe einzurichten und auszuführen. Zusätzlich bieten ein Hochleistungsmassenflusskontrolleur und ein einheitliches Partikelnverunreinigungsüberwachungssystem ausgezeichnete Kontrolle über das Gasberühren und die Raumreinheit. Alpha 303C wird für einen maximalen Druck von 100 mbar bewertet und hat eine schnelle Sequenzierung (FS) Rampenrate von 150 ° C/Minute, wodurch es für eine Vielzahl von Materialprozessen geeignet ist, einschließlich der schnellen thermischen Glühung oder der Aktivierung von Transistoren. Es verfügt auch über fortschrittliche frontseitige Sicherheitsfunktionen wie Druckverriegelungen und einen Ionisator, um das Risiko von Kontaminationen und Schäden an anfälligen Prozesskomponenten zu verringern. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303C ist kompatibel mit mehreren TEL/TOKYO ELECTRON Zubehörteilen, einschließlich der konfigurierbaren Probenhandhabungseinheit (SHU-3000) und Waferübertragungssystemen wie TEL-ATS Serie 0 und 1. Auf diese Weise können Benutzer ihre Konfiguration an ihre spezifische Anwendung anpassen. TEL Alpha 303C ist ein hervorragendes Beispiel für TOKYO ELECTRON Engagement für Innovation und Qualität. Es wurde entwickelt, um eine optimierte Prozesseffizienz und -genauigkeit zu gewährleisten und gleichzeitig einen sicheren Betrieb durch fundierte Prozesskontrollprinzipien und die Einbeziehung von frontseitigen Sicherheitsmerkmalen zu gewährleisten. Als solches ist es eine ausgezeichnete Wahl für Chiphersteller, die nach einem zuverlässigen und präzisen Diffusionsofen suchen.