Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097225 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H ist ein Diffusionsofen und Zubehör für fortgeschrittene Halbleiterbauelementherstellung verwendet. Dieses hochmoderne System umfasst einen horizontalen Ofen mit einer Hochtemperatur-Mehrzonen-Heizkammer und einer Einkammer-Lastschloßeinheit. Es wurde entwickelt, um Silizium, Silizium-on-Isolator (SOI) und Silizium-Germanium (SiGe) Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm zu verarbeiten. Die Maschine verfügt über einen fortschrittlichen Controller mit einer einfach zu bedienenden Touchscreen-Schnittstelle, die Züchtern eine automatisierte Steuerung der Basistemperatur, der Heizrate, der Kühlrate, des Gasflusses und des Druckniveaus bietet. Ein Hightech-Alarmwerkzeug ist auch enthalten, um Benutzer bei einer Störung oder unerwarteten Bedingungen zu warnen. Der Ofen verwendet eine lineare induktive Heizeinrichtung, die eine Anordnung von Spulen verwendet, um ein gleichmäßiges Temperaturprofil über die Oberfläche des Wafers zu erzeugen, um eine genaue Temperaturverteilung an jeder Stelle zu gewährleisten. Die Heiz- und Kühlparameter können auf sehr niedrige und sehr hohe Werte eingestellt werden, wodurch Prozesse wie Glühen und Oxidieren mit sehr hoher Genauigkeit und Kontrolle durchgeführt werden können. Innerhalb des Ofens wird ein Mehrzonen-Heizmodell verwendet, um Temperaturungleichförmigkeiten zu adressieren, wobei bis zu sieben unabhängige Temperaturzonenkonfigurationen erstellt werden können. Der Ofen ist auch mit geringer Wärmestrahlung und aktiven Wärmemanagementmodulen ausgestattet, was eine effiziente thermische Leistung gewährleistet. Das Verfahren wird durch einen intelligenten Befeuchter weiter verbessert, der Kondensation reduziert und Verschmutzungen verhindert. Schließlich kommt TEL Alpha 303i-H mit einer einzigen Kammer Load-Lock-Ausrüstung, die Wafer-zu-Wafer-Verschmutzung minimiert, und mit einem komplexen gasförmigen Umgebungsüberwachungssystem, das es Anwendern ermöglicht, Konzentrationen verschiedener Gase genau zu messen, um eine optimale Leistung des Diffusionsprozesses zu gewährleisten. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H eine hochmoderne Diffusionsofen- und Zubehöreinheit, die Anwendern die Genauigkeit, Präzision und Kontrolle bietet, die sie für die Herstellung von Halbleiterbauelementen mit höherer Ausbeute benötigen.