Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097233 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097233
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
D-Poly furnace, 12", 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Verarbeitung von Verbundhalbleitersubstraten. Es verfügt über eine breite Palette von Sicherheits-, Automatisierungs- und Komfortmerkmalen, die es zu einer wünschenswerten Option für Labore und Produktionsanlagen machen, die ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für Serienproduktionen von Halbleiterbauelementen benötigen. TEL Alpha 303i-H Diffusionsofen ist präzise gebaut und kann Temperaturen von bis zu 1.900 ° C erreichen. Es enthält auch ein fortschrittliches Heizungssteuerungssystem und in der Lage, die Rampenrate zu steuern, die es dem Benutzer ermöglicht, eine enge Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit für einheitliche Ergebnisse zu erreichen. Die Prozesskammer ist mit einem Keramikfenster verschlossen und liefert dem Wafer unter Druck stehende inerte oder reaktive Gasströme, die vermutlich eine überlegene Dotierstoffgleichmäßigkeit und Ausbeuten sowie eine optimierte Kristallwachstumsumgebung bieten. Die interne Ladeeinheit hilft dabei, das Be- und Entladen von Substraten in der Prozesskammer in einem schnellen sequentiellen Muster zu automatisieren und ermöglicht gleichzeitige Prozessabläufe von bis zu drei Substraten innerhalb desselben Lastschloßzyklus. Es beinhaltet auch andere fortgeschrittene Belastungsmerkmale wie eine Kraftausgleichsmaschine, die hier gleichmäßigen Druck auf das Spannfutter und den Spannring ausübt, was den Kontakt zwischen den Substraten und dem Spannfutter gewährleistet, was zu gleichmäßiger Wärmeübertragung und optimierter Prozessstabilität führt. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H Werkzeug ist auch mit Benutzersicherheit und Komfort im Auge entworfen. Es umfasst eine fortschrittliche Kühlwasservorrat, mit dem Prozess und Kühlschleifen in getrennten Kammern, um das Potenzial für Kreuzkontamination zwischen dem Prozess und Kühlschleifen zu beseitigen. Das Modell ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich einer Inertdruckkontrolleinrichtung, einer Not-Aus-Taste und einer Lecksuche. Neben dem Hauptdiffusionsofen enthält Alpha 303i-H auch eine Reihe von Zubehörteilen zur Optimierung Ihrer Prozessabläufe. Dazu gehört eine Oxidations-/Diffusionsmaschine, die für Oxidations- und thermische Oxidationsprozesse entwickelt wurde; ein GASDIFF-Vordiffusionswerkzeug für Vordiffusionsprozesse; und ein Ätzgut, um das Nass- und Trockenätzen zu erleichtern. Zum Modell gehören auch ein GASDIFF PC Interface zur Softwareintegration und ein LCD Touchpanel Control Unit für einfache und intuitive Bedienung. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H ein fortschrittliches und zuverlässiges Diffusionsofensystem, das die Flexibilität, Sicherheit und Prozessstabilität der Benutzer maximiert. Es bietet eine breite Palette von Funktionen und Zubehör für eine effiziente, wiederholbare und qualitativ hochwertige Herstellung von Verbundhalbleitersubstraten.
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