Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097240 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H ist ein Hochleistungs-Vertikal-Diffusionsofen und Zubehör für die Verarbeitung von ultrahochreinen (UHP) Halbleiterbauelementen. Das System zeichnet sich durch überlegene Prozessfähigkeit und Temperaturgleichmäßigkeit mit einem Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 1000 ° C aus. Zusätzlich kann das Gerät Wafer bis zu 8 Zoll aufnehmen. für die Verarbeitung mit extrem niedrigem Widerstand. Die Maschine verfügt über Carrier Flow™ Technologie, die eine präzise Temperatureinheitlichkeitskontrolle bietet. Diese Technologie bietet eine verbesserte Kontrolle der Temperaturratengleichförmigkeit, die Oblate ermöglicht hat, die mit höheren Geräterträgen in einer Prozession geht. Zum Werkzeug gehört auch die Glide Elements™ Technologie, die eine präzise Steuerung des Gasdurchsatzes, eine gleichmäßige Mantelwand und eine schonende Eindämmung der beheizten Wafer bietet. Dadurch wird eine seitliche Verschiebung der Wafer verhindert und eine gleichmäßige Erwärmung der Waferflächen gewährleistet. Die Anlage umfasst auch eine einzigartige Heizelement- und Temperatursensorkonfiguration, die eine präzise Steuerung von Heizleistung und Temperatur ermöglicht. Zusätzlich enthält das Modell eine patentierte Temperaturkompensationsausrüstung, die plötzliche Temperaturänderungen verhindert. Dadurch wird eine optimale Temperaturgleichförmigkeit sowohl über die Zeit als auch über die Waferoberfläche gewährleistet. TEL Alpha 303i-H verfügt auch über eine inerte Atmosphäre, so dass es für eine Reihe von Prozessoperationen geeignet. Um einen ultrahochreinen Betrieb zu gewährleisten, ist das System sowohl mit Vor- und Nachbackwaren als auch mit einer patentierten Schnellglühlösung ausgestattet. Dies trägt dazu bei, eine hohe Geräteausbeute und robuste Prozessabläufe zu gewährleisten. Die Einheit enthält auch eine Sicherheitseinheit, die hilft, ein angemessenes Maß an Schutz vor Schaden für Personal und Ausrüstung zu bieten. Die Sicherheitseinheit kombiniert mechanischen und elektrischen Schutz und beinhaltet eine Verriegelungsmaschine und andere Sicherheitszulassungen. Darüber hinaus enthält die Sicherheitseinheit auch eine Reihe von LED-Anzeigen, die die Sicherheit von Personal und Ausrüstung weiter erhöhen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H ein fortschrittliches Diffusionsofen und Zubehörwerkzeug, das überlegene Prozessfähigkeit, Temperaturgleichmäßigkeit und Waferbearbeitungserträge bietet. Diese Anlage ist für die Verarbeitung von UHP-Geräten konzipiert und verfügt sowohl über Carrier Flow™-Technologie als auch über die Glide Elements™-Technologie sowie über ein patentiertes Temperaturkompensationsmodell und eine Sicherheitseinheit, wodurch sie sich ideal für die zuverlässige und kostengünstige Herstellung von Halbleiterbauelementen eignet.