Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9411632 zu verkaufen
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ID: 9411632
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Furnace, 12"
Process: MTO
Exhaust box
AC Rack
Heater
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Halbleiterherstellung entwickelt. Es bietet eine effiziente, zuverlässige und erschwingliche Möglichkeit, kleine Geräte mit großen Erträgen und hoher Zuverlässigkeit zu schaffen. Das System besteht aus einer Kammer mit speziellen Wärme- und Vakuumbedingungen, einem Waferhalter und einer Gate-Steuerung. Die Gate-Steuerung steuert die Temperatur, den Gasstrom und den Druck innerhalb der Kammer. TEL Alpha verwendet 303i-H eine 3-in-1-Prozeß-Gaslösung in Kombination mit einer neu entwickelten Gasverteileinheit. Diese Kombination ermöglicht eine schnelle und stabile Hochflussabscheidung, die für moderne Geräteleistungen erforderlich ist. Die beheizte Kammer verfügt auch über einen einzigartigen „Wiedergabemodus“, mit dem Benutzer Simulationen vergangener Rezepte wiedergeben können. Dies ermöglicht die Feinabstimmung sowie die Reproduzierbarkeit von Prozessrezepten. Der Waferhalter verwendet modernste CVD-Technologie mit eingebetteter Verzahnung, wodurch keine Nassreinigung erforderlich ist. Die hochpräzise Ebenheit der Substratoberfläche nach der Belastung gewährleistet eine gleichmäßige und gleichmäßige Verteilung des Substrats während des Diffusionsprozesses. Die Steuerungsmaschine verfügt auch über eine erweiterte SPS-Logik und eine Farbanzeige, die Prozessdaten überwacht. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H Diffusionsofen ist für ausgezeichnete Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit sowie schnelle Kühlung und Heizraten ausgelegt. Das Werkzeug ist mit zwei Gaseinlässen und einer Vakuumfunktion für einen sicheren und kontrollierten Prozess ausgestattet. Der Anschluss der Stromversorgung, des Controllers und der Asset-Kaskaden ermöglichen einen direkten Zugriff auf die Prozesssteuerung, was Zeit und Aufwand spart. Alle Steuerungs- und Sicherheitsmerkmale sind mit erweiterten HMI-Funktionen unter TEL zugelassen. Alpha 303i-H Diffusionsofen ist eine ideale Lösung für die Herstellung hochwertiger, zuverlässiger und kostengünstiger Halbleiter. Mit einem breiten Temperaturbereich, fortschrittlicher Prozesssteuerung und automatischem Betrieb bietet das Modell Benutzern ein sorgenfreies und einfach zu bedienendes Gerät. Von der Serienfertigung bis zur serienarmen Prototypenfertigung kann sie den Anforderungen aller Fertigungsprozesse gerecht werden. Darüber hinaus wurde es entwickelt, um Produktivität, Effizienz und Leistung zu steigern.
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