Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9381859 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN
ID: 9381859
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-306 Gases: DCS / N2O / SiH4 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN Diffusionsofen und Zubehör bietet eine breite Palette von Optionen für fortschrittliche thermische Prozesse, die Siliziumscheiben und Verbundhalbleitermaterialien umfassen. Es ist ein zuverlässiges und robustes System, das auf Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit von thermischen Prozessen ausgelegt ist. TEL Alpha 303i-KVCN ermöglicht eine präzise Temperaturregelung und bietet zahlreiche weitere Funktionen, die es zu einem der fortschrittlicheren Systeme machen. Die Einheit besteht aus einer Hauptkammer, die für Servicepersonal durch abnehmbare Zugangspaneele, eine Mittelkasten/Pufferkammer und ein vorderes Mehrkanal-Vakuumschieberventil mit umhülltem Klystron leicht zugänglich ist. Die Hauptkammer ist mit überlegener Isolierung und Temperaturgleichförmigkeit für eine effektive Temperaturregelung ausgelegt. Die Maschine kann bis zu neun 2-Zoll-Wafer gleichzeitig aufnehmen und eignet sich gut für Prozesse wie Epitaxie, CVD, Oxide und Nitride. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN bietet mit seinem fortschrittlichen Temperaturregler und Druckregler eine außergewöhnliche Steuerung von Temperatur- und Druckprofilen. Der Temperaturregler sorgt für eine präzise Regelung der Temperatur in der Hauptkammer und sorgt für genaue Temperaturen für genaue Ergebnisse. Die Temperaturregelung kann an das Substratmaterial und die Parameter angepasst werden, was die Effizienz erhöht und den manuellen Eingriff reduziert. Der Druckregler passt das Druckprofil automatisch an die Eigenschaften des Prozesses an, um das Temperaturprofil zu optimieren und eine präzisere Verarbeitung zu ermöglichen. Alpha 303i-KVCN verfügt außerdem über eine Vielzahl fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen, die es zu einem der sichersten verfügbaren Systeme machen. Es umfasst ein automatisches Temperaturregelwerkzeug, das die Wärmequelle im Notfall abschaltet, eine manuell rückstellbare Sicherheitssicherung und einen Notabschalter. Diese Funktionen schützen Personal und Ausrüstung und gewährleisten den sicheren Betrieb der Anlage. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN bietet auch eine Reihe von zusätzlichem Zubehör, das eine bessere Prozesssteuerung und mehr Flexibilität ermöglicht. Zu diesem Zubehör gehören ein Lastverschlussmodell, ein Filmmusterwechsler, eine automatisierte Prozessüberwachungseinrichtung und ein programmierbarer Waferhalter. Weitere optionale Komponenten sind ein Photolacksystem und eine Wafer-Manipulationseinheit. TEL Alpha 303i-KVCN Diffusionsofenzubehörmaschine ist ein zuverlässiges und robustes Werkzeug, das enormes Potenzial für eine Vielzahl von thermischen Verarbeitungsanwendungen bietet. Die Anlage bietet mit ihrem fortschrittlichen Temperaturregler und Druckregler eine außergewöhnliche Kontrolle über Temperatur- und Druckprofile. Das Modell umfasst auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, zusätzliches Zubehör und flexible Programmiermöglichkeiten. Mit seiner hochwertigen Konstruktion, Zuverlässigkeit und Flexibilität ist TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN eine ausgezeichnete Wahl für Unternehmen, die eine fortschrittliche thermische Verarbeitungsausrüstung suchen.
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