Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN #9384011 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN
ID: 9384011
Wafergröße: 12"
Furnace, 12" K Type.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN ist ein Diffusionsofen für die Entwicklung von Halbleitersubstraten und -materialien. Es bietet hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit für fortschrittliche Materialien und Verarbeitung. TEL Alpha 303i-KVCN verfügt über ein 3-Zonen-System, jedes mit unabhängiger Temperaturregelung und separater Gasverteilung, so dass Benutzer ihre Verarbeitung für eine Vielzahl von Substraten anpassen können. Es wird mit einem 1.0kW E-Strahl-Verdampfer und einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) zur Steuerung aller Verarbeitungsparameter geliefert. Der Diffusionsofen ist mit einem In-situ-Massenstromregler ausgestattet, wodurch er unglaublich genau und zuverlässig ist. Es verwendet auch einen vertikalen Widerstandstemperaturdetektor (RTD) und ein Thermoelement zur präzisen Temperaturregelung. Ein automatisches Kalibriersystem sorgt für maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit. TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN verwendet auch ein geschlossenes Druckregelsystem, um den optimalen Kammerdruck während der Verarbeitung aufrechtzuerhalten. Dadurch wird eine kontrollierte Reaktion des zu verarbeitenden Materials sichergestellt, die wiederholbare Ergebnisse liefert. Der Ofen kommt auch mit einer hocheffizienten vertikalen Quarzglocke für bessere Temperaturgleichmäßigkeit und erhöhte Prozessausbeute. Es verwendet auch einen Hochleistungs-Sauerstoffwäscher, der Sauerstoff aus der Kammer entfernt, um die Oxidation der zu verarbeitenden Substrate zu eliminieren. Darüber hinaus ist Alpha 303i-KVCN mit einem Einzel-Wafer-Transferroboter ausgestattet, der den Wafer nach Abschluss des Prozesses aus dem Futter entfernen soll. Es ist auch so konzipiert, dass es mit einer Vielzahl von unterschiedlich großen Wafern kompatibel ist. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCN ist eine All-in-One-Lösung für die Halbleiterverarbeitung und eine ideale Wahl für Hersteller, die einen zuverlässigen und präzisen Diffusionsofen suchen. Die hohe Genauigkeit, maximale Wiederholbarkeit und geschlossene Systeme sorgen für gleichmäßige Ergebnisse und hervorragende Ausbeuten.
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