Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596434 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid ist ein Diffusionsofen und Zubehör für die Halbleiterindustrie. Es wurde entwickelt, um die Anforderungen der anspruchsvollsten Prozesse zu erfüllen und wird für eine breite Palette von Anwendungen verwendet, einschließlich Abscheidung und Ätzen von dünnen Filmen, Oberflächenbehandlungen, Oxidation und Nitrid-Behandlungen. TEL Alpha 303i Nitrid ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen, der eine vertikale, direkt beheizte Hotzone-Ausrüstung und ein vertikales Zugangsvolumen verwendet. Diese Konfiguration bietet präzise thermische Gleichmäßigkeit, ausgezeichnete Temperaturstabilität und genaue Gleichmäßigkeit der Temperaturverteilung auf Waferebene. Die Verwendung eines vertikalen Hotzonenheizsystems und eines erweiterten Zugangsvolumens maximieren die Gleichmäßigkeit der gleichmäßigen Temperaturverteilung auf Waferebene und verbessern die Prozess- und Produktausbeute. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid ist mit der neuesten Temperaturregelungstechnologie ausgestattet, die eine präzise Temperatureinstellung, Rampenratenregelung und Ofenzyklusregelung ermöglicht. Es kommt mit einem Touchscreen-Controller, der eine einfache Überwachung und Einstellung der Prozessparameter ermöglicht. Es ist auch mit einem programmierbaren Logikcontroller (SPS) zur automatisierten Einstellung und Steuerung von Prozessparametern ausgestattet. Die Hotzone besteht aus einem elektrisch leitfähigen Material, das als Wärmequelle dient, um den Wärmeübergang weiter zu maximieren und so die thermische Gleichmäßigkeit und Temperaturstabilität zu verbessern. Die Hotzone ist auch mit einer Anodenanordnung ausgestattet, die hilft, elektrischen Strom zu steuern und zu regulieren, der zur Temperaturregelung verwendet wird. Alpha 303i Nitrid kommt auch mit Sicherheitsfunktionen, um die Sicherheit der Prozessbetreiber zu gewährleisten. Es verfügt über Umgebungsschutz wie einen Übertemperaturalarm, Explosions- und Brandmelder und eine Notstromabschaltung, zusätzlich zu einer automatisierten Verriegelungseinheit, die das Öffnen der Hotzone während des Ofenbetriebs verhindert. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid Maschine ist entworfen, um maximale Prozessflexibilität zu bieten. Es kann eine breite Palette von verschiedenen Wafertypen und -größen sowie verschiedene Prozessrezepte für die Nitridbehandlung handhaben. Es ist auch für eine schnelle und einfache Wartung konzipiert, mit einer einfachen One-Touch-Kalibrierung und einer Vielzahl von Diagnosewerkzeugen, um Prozessstabilität und überlegene Produkterträge zu gewährleisten. Auch für die doppelseitige Nitridbeschichtung steht eine gleichzeitige duale Waferausrichtung zur Verfügung. Abschließend ist TEL Alpha 303i Nitrid ein Hochleistungs-Diffusionsofen und Zubehör für die Halbleiterindustrie. Es ist mit den neuesten Temperaturkontrolltechnologien und Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um maximale Sicherheit und Prozessstabilität zu gewährleisten. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Wafertypen, Größen und Prozessrezepten für die Nitridbehandlung zu handhaben und bietet maximale Prozessflexibilität und überlegene Produkterträge.