Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596435 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride
ID: 293596435
Vertical furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid ist ein High-End-Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör. Es handelt sich um eine Mehrzonen-, Einwafer-Thermobearbeitungsanlage, die zur dreidimensionalen chemischen Dampfabscheidung (CVD) und Diffusion unterschiedlichster Materialien in der Lage ist. TELEFON-Alpha 303i Nitridaufstellung schließt ein Hochleistungsstickstoffkristallwachstumsmodul, sowie Nitrid, widerspenstiges Metall und Übergangmetall CVD Module ein. TEL proprietäre IFEC (Integrated Furnace Electronic Controller) bietet eine umfassende Palette von Optionen für die Steuerung und Verwaltung der thermischen Prozesse. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid wurde entwickelt, um größere Wafer mit einer maximalen Wafergröße von 300 mm zu handhaben. Es kann bis zu 16 Wafer pro Prozess aufnehmen, und sein hoher Durchsatz macht es für die Großserienproduktion geeignet. Die Maschine bietet auch eine breite Palette von Hochtemperaturfähigkeiten, von Raumtemperatur bis zu 1100 ° C. Die „Kühlwalze“ von Alpha 303i Nitrid ermöglicht eine schnelle Kühlung und schützt die Wafer während des thermischen Prozesses. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid profitiert von der höchsten Reinheit Stickstoff, Argon und andere Gase, um überlegene Qualität thermische Verarbeitung zu erreichen. Die On-Board-Automatisierungssoftware erleichtert die Bedienung und hilft, den Produktionsertrag mit hoher Präzision zu erhalten. Das optionale Digital Image Processing System (DIPS) steuert adaptiv die Dickenverteilung von Nitriden und feuerfesten Materialien. TEL Alpha 303i Nitrid integriert fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines Infrarot-Sicherheitsfensters zur Verhinderung von Personenschäden sowie eine an der Wand angebrachte Sicherheitseinheit zur Erkennung und Verhinderung von Gasleckagen. Der Ofen ist mit einer Echtzeit-Überwachungsmaschine ausgestattet, um den Zustand seiner Brenntemperatur, seines Drucks und seines Gasstroms zu überwachen. Zusätzlich steht ein Spezialwerkzeug zur Verfolgung von Wafern und Quarzrohren im Werkzeug zur Verfügung. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid ein effizienter und zuverlässiger Diffusionsofen und CVD-Asset, der sich gut für die Großserienproduktion eignet. Das leistungsstarke Stickstoffkristall-Wachstumsmodul, der weite Temperaturbereich und automatisierte Systeme sorgen für eine präzise Steuerung des thermischen Prozesses und tragen zur Maximierung der Produktionserträge bei. Die Maschine verfügt über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Ausrüstung, was sie zu einer idealen Wahl für die thermische Verarbeitung von Nitrid und feuerfestem Metall macht.
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