Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293655836 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Nitridofen ist eine Hochleistungssubstratverarbeitungsanlage. Es ist ideal für die Diffusion verschiedener Materialien in Silizium und andere Halbleitersubstrate und ist in der Lage, alle Bereiche der Halbleiterbauelementverarbeitung von der Ionenimplantation bis zur Oxidation und Nitrid-Anwendungen. In Bezug auf technische Fähigkeiten hat TEL Alpha-303i Nitridofen eine maximale Temperatur von 1250 ° C, mit einer maximalen thermischen Homogenität von ± 5 ° C. Es hat auch eine Temperaturgleichförmigkeit von ± 0,9 ° C in einem 70 x 70 mm Bereich, und eine Gleichmäßigkeit von ± 2,2 ° C in einem 140 x 140 mm Bereich. Das System ist in der Lage, eine Wärmehistorie für über 150 thermische Zyklen aufrechtzuerhalten, und kann für hohe Serienprobleme verwendet werden. Die hochzuverlässige Integralheizeinheit sorgt für eine maximale Temperaturregelgenauigkeit von ± 0,2 ° C. Die Maschine ist mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen wie einem Pyrometer mit einem Fernanzeigetool und einem Gasflusssteuergerät ausgestattet. Diese ermöglichen eine genaue Kontrolle von Nitrid und anderer Verarbeitung von Kammer zu Waferebene. Der Nitrid-Ofen ist auch in der Lage, die Dotierung zu kontrollieren, während die Faktoren in der Temperatur. Dies geschieht durch Manipulation des Gleichgewichts zwischen dem Stickstoffstrom und dem Strom von Silanquellgas. Es enthält auch eine erweiterte Quarz untere Elektrode Konfiguration, entworfen für verbesserte Gleichmäßigkeit. TOKYO ELECTRON Alpha-303i Nitrid Ofen ist ein zuverlässiges und leistungsfähiges Substratverarbeitungswerkzeug. Seine fortschrittlichen Funktionen gewährleisten eine breite Palette von hochpräzisen Prozessen, und es nutzt die neuesten Halbleiterbauelemente und Kristallwachstumstechnologien. Seine Temperaturregelgenauigkeit und thermische Homogenität gewährleisten eine gleichbleibende mittlere bis hohe Serienproduktion. Es verwendet auch fortschrittliche Sensoren und automatisierte Steuerungssysteme, um maximale Sicherheit und Qualität der Prozessergebnisse zu gewährleisten.