Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293807549 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride
ID: 293807549
Vertical anneal furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid ist eine Diffusionsofen- und Zubehörausrüstung, die speziell für die effiziente und zuverlässige Verarbeitung von Halbleiternitridschichten entwickelt wurde. Es ist ideal für die Herstellung von leistungsstarken Leistungs- und Logikgeräten und bietet eine hervorragende Umgebung zur Steuerung von Dicke, Plattenwiderstand und anderen kritischen Prozessparametern. Dieser Diffusionsofen verwendet ein einziges Gas, typischerweise Stickstoff, um kostengünstige Nitridfolien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit abzuscheiden. TEL Alpha 303i Nitrid bietet eine vollständige Palette von Prozessfähigkeiten, die die Abscheidung homogener und mehrschichtiger Folien ermöglichen. Seine hohe Betriebstemperatur (bis 1150 ° C) sorgt für hochwertige Folien, während seine niedrige Reaktandenkonzentration (1 ~ 4% N2) für sicherere, niedrigere Wachstumsraten sorgt. Das System wird durch einen Dreizonenofen mit nachgeschalteter Warmwandnitrierkammer stabilisiert. Zusätzlich ist ein Quarzboot mit niedrigem Profil enthalten, um die Gleichmäßigkeit über die Probenoberfläche zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid ist mit einer hochmodernen, mehrkanaligen Gasfördereinheit zur präzisen Steuerung von Prozessparametern ausgestattet. Diese Maschine ermöglicht es dem Anwender, die Gaskonzentrationen in den Reaktionskammern genau zu überwachen und einzustellen, wodurch die Verarbeitungsflexibilität gegeben ist. Neben dem Gaslieferwerkzeug bietet Alpha 303i Nitrid auch eine fortschrittliche Vakuumanlage für eine optimale Prozesssteuerung. Dies ermöglicht eine genaue Messung von Druck, Temperatur, Verdampfungsrate und Gaskonzentration. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid bietet auch eine Reihe von Überwachungsfunktionen. Mit seinem spezialisierten Sensor, Temperaturmonitor und Ionenmessgerät kann der Benutzer die Kühltemperatur, die Gasdurchflussrate, die Schichtdicke und andere wesentliche Prozessparameter leicht überwachen und regulieren. Das Modell ist zudem mit hochpräzisen Überwachungsgeräten und einem Bordcomputer ausgestattet, so dass der Anwender den Nitrid-Abscheidungsprozess präzise steuern kann. TEL Alpha 303i Nitrid ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die nach einer effizienten und zuverlässigen Ausrüstung suchen, um qualitativ hochwertige Halbleiternitridschichten herzustellen. Die vielseitigen Prozessfähigkeiten, fortschrittliche Gasliefer- und Überwachungssysteme sowie der Bordcomputer ermöglichen es dem Anwender, homogene und mehrschichtige Folien mit unübertroffener Genauigkeit und Präzision effizient zu verarbeiten.
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