Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #9282707 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride
ID: 9282707
Wafergröße: 12"
Vertical nitride furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das in der Halbleiter- und Dünnschichtproduktion verwendet wird. Es ist ideal für eine breite Palette von Verarbeitungsschritten wie thermisches Nitrid, LPCVD, Multi-Epitaxie und Ätzprozesse, mit jedem Schritt mit ausgezeichneter Temperaturgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit, um ein konsistentes, hochwertiges Produkt zu gewährleisten. TEL Alpha 303i Nitrid besteht aus zwei verschiedenen Komponenten, der beheizten Zone und der Duschplatte, und wird durch eine programmierbare Stromversorgung angetrieben, die eine genaue und konsistente Heizleistung ermöglicht. Die erwärmte Zone ist ein technisches Quarz-Thermoblickfenster, das sich an der Spitze des Systems befindet und bei Temperaturen zwischen 350 und 1200 ° C arbeitet. Die Brauseplatte erzeugt eine gleichmäßig in der Prozesskammer verteilte homogene Temperatur, die durch Anoden- und Masseebenen und Versorgungsfrequenz von 400 bis 2000Hz definiert ist. Das System verfügt über ein Kammervolumen von 12 Litern mit einer Zugangsöffnung, die einen schnellen Materialaustausch zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Kammer ermöglicht. Seine fortschrittliche Temperaturstabilität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit garantieren präzise und konsistente Dicke in Folien und Substraten, die verarbeitet werden. Eine numerische Steuereinrichtung (NC) mit Touchscreen-Schnittstelle ermöglicht einen einstellbaren und sicheren Betrieb des Ofens, wobei der Benutzer vorbestimmte Verarbeitungsparameter einrichten kann, bevor jeder Zyklus automatisch eingeleitet wird. TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid enthält auch zusätzliche Funktionen zur Verbesserung der Produktionszeit wie die Auto-Start-Funktion, die sicherstellt, dass alle Zyklusparameter über mehrere Läufe beibehalten werden. Alpha 303i Nitrid ist für optimale Sicherheit von Personal und Materialien konzipiert, mit der Kammer mit Temperatur- und Druckalarmen und Abschaltfunktionen sowie wassergekühlten Außenpaneelen, die zusätzlichen Schutz vor Wärme bieten. Die hohe Leistung des Systems in Verbindung mit seinem benutzerfreundlichen Design und den überlegenen Sicherheitsstandards macht TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitrid zu einer großartigen Option für Diffusionsofenbedürfnisse.
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