Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxide #293597095 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxid ist ein Diffusionsofen und sein zugehöriges Zubehör zur thermischen Oxidation von Siliziumscheiben. Der Ofen wurde entwickelt, um eine gleichmäßige thermische Oxidation sowohl im kleinen Labor als auch im Produktionsmaßstab zu gewährleisten. Es ist in der Lage, hochreine Oxide zu erzeugen, die von einer einzigen Solltemperatur bis zu einem sorgfältig abgestimmten Profil der stationären Oxidation reichen. Es verwendet eine vertikalwandige Ofenstruktur, um die Oxidationstemperatur und einen Massenstromregler in der Nähe der Waferlast zu steuern, um eine hocheffiziente thermische Verarbeitung des Wafers zu ermöglichen. Das Gerät ist für eine perfekte thermische Konditionierung konzipiert und liefert stationäre Temperaturen mit sehr niedrigem thermischen Gradienten über die Substratoberfläche. Der Ofen ist thermomechanisch stabil, robust und langlebig bei niedrigen Herstellungskosten und Wartungskosten. Der Diffusionsofen umfasst mehrere Merkmale, wie ein einzigartiges Zweiwellenantriebssystem, einstellbare Zone-by-Zone-Temperatur, Druckregler und digitale Temperatur/Druck-Presets. Der Zweiwellenantrieb verwendet einen mechanischen Antrieb, um eine stabile Temperaturregelung ohne Temperaturüberschreitung oder Instabilitäten zu gewährleisten, während die einstellbare Zone-by-Zone-Temperatur es Benutzern ermöglicht, verschiedene Bereiche des Siliziumwafers bei unterschiedlichen Temperaturen gleichzeitig zu bearbeiten. Darüber hinaus ermöglichen die Druckregler und die digitale Temperatur/Druck-Voreinstellung eine präzise Kontrolle des Drucks und der Temperatur während des Oxidabscheidungsprozesses. Einer der Hauptvorteile von TEL ALPHA-303I OXIDE ist die schlanke Automatisierung. Der automatische Betriebsmodus und die integrierten, computerbasierten Dienstprogramme sorgen für eine einfache und effiziente Bedienung und Einrichtung von thermischen Oxidationsrezepten. Die Einheit sieht auch die Rückverfolgbarkeit von Prozeß- und Geräteparametern vor, da jedes Rezept nach erfolgter Diffusion erschöpfend analysiert wird. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Prozessparameter präzise gesteuert und erfasst werden, was eine optimale Ausbeute und optimale Qualität gewährleistet. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I OXIDE enthält auch mehrere Sicherheitsmerkmale wie automatische Abschaltung bei anormaler Temperaturerhöhung und Alarm für Abgasanschlüsse, um Oxidationsofenanomalien anzuzeigen. Darüber hinaus kann die Maschine entweder im manuellen oder im Auto-Modus betrieben werden, was die Flexibilität und Sicherheit des Benutzers ermöglicht. TOKYO ELECTRON ALPHA-303I OXIDE ist ein effizienter und zuverlässiger Diffusionsofen, ideal für kleine und große thermische Oxidationsprozesse sowie für die Herstellung einer hochwertigen, gleichmäßigen und dünnen Oxidschicht. Es bietet eine hervorragende thermische Leistung und ermöglicht stationäre Temperaturen mit niedrigen thermischen Gradienten, wodurch die Qualität und die Prozessausbeuten verbessert werden. Darüber hinaus sorgen die optimierten Automatisierungs- und Sicherheitsfunktionen für Benutzerfreundlichkeit und Bedienung bei optimaler Produktivität und Präzision.