Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293636078 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 293636078
Furnace Process: DCS-MTO.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör zur Herstellung von Halbleiterchips. TEL ALPHA-303I ist in der Lage, Diffusionsbearbeitung bei Temperaturen von bis zu 1200 ° C, so dass es für flache und tiefe Kreuzung Bildung geeignet. Merkmale, die eine Prozessanpassung ermöglichen, umfassen: Ofenquellen-Stromversorgungsdesign für Übertemperaturschutz, eine komplette Rückkopplungsprozessausrüstung und unabhängige Steuerung mehrerer Temperaturzonen. Erweiterte Interlocks und Diagnosen sind auch in der HMI (Human-Machine Interface) des 303i enthalten, um Anwendern Flexibilität, Sicherheit und Produktivität zu bieten. Seine effiziente diffuse Retortenkammerdesign gewährleistet die Gleichmäßigkeit des Prozesses unter Beibehaltung eines ausgezeichneten Gleichförmigkeitsprofils. Darüber hinaus verfügt der 303i über eine überlegene RF-Generatorleistung, die auf bestimmte Schichten und Anwendungsanforderungen abgestimmt werden kann. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist mit fortschrittlichen Umweltschutzmerkmalen ausgestattet. Dazu gehören ultra-niedrige Wasserdurchflussraten, dedizierte Kühlmittelkühlsysteme und Ozonschutz. Des Weiteren ist das System mit einer Gaspermutationseinheit zur Handhabung einer Vielzahl von Gasen für unterschiedliche Prozessanforderungen ausgestattet. Die Gaspermutationsmaschine arbeitet auch in Verbindung mit einem Gasanalysator, um sicherzustellen, dass Prozessparameter gut eingehalten werden. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I verfügt auch über wesentliche Vakuumpumpenlösungen zur Steuerung der Prozessverschmutzung. Das Gerät wird von einer Hochleistungs-Vakuumpumpe und einem unabhängigen Differenzdruckmessgerät angetrieben, um eine effektive Prozesssteuerung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein Multi-Turnback-Wartungstool für die Wartung von Vermögenswerten und die allgemeine Wartung. Insgesamt ist Alpha 303i ein großer, leistungsstarker und effektiver Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör. Seine ausgeklügelte Technologie sorgt dafür, dass das Gerät für eine Vielzahl von Diffusionsverarbeitungsumgebungen geeignet ist. Mit seiner genauen Steuerung und Gleichmäßigkeit ist TEL Alpha 303i eine effektive und zuverlässige Lösung für die Herstellung von Halbleiterchips.
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