Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658165 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Diffusionsofen, der speziell für Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Es ist eine kompakte, einachsige Ausrüstung, die verwendet werden kann, um Dotierstoffe zu Wafern hinzuzufügen, um die Leitfähigkeit des Materials zu erhöhen. TEL ALPHA-303I verfügt über eine integrierte Ofenkammer, die temperaturgeregelt und vakuumdicht ist und genaue und konsistente Verarbeitungstemperaturen ermöglicht. Seine sicheren Verriegelungen und Sicherheitssysteme gewährleisten die Sicherheit des Bedieners während des Betriebs. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I bietet die Flexibilität für Diffusionsanwendungen, einschließlich der Möglichkeit, mehrere Verweilzeiten für verschiedene Gase und Gasmischungen einzustellen. Die Prozesszeit ist genau und wiederholbar, mit einer einstellbaren Kühlrate, die eine genaue Steuerung des Temperaturprofils ermöglicht. Die Vakuumleistung von ALPHA-303I ist hervorragend, mit einem Basisdruck unter 1 Torr und hoher Leckrate bis zu 5x10 ^ -3 Pa-m ^ 3/sec. Es verfügt auch über Lampen, die kontinuierlich die Sauberkeit des Antriebs überwachen. TOKYO ELECTRON Alpha 303i arbeitet mit einer breiten Palette von Substraten, einschließlich Quarz, Silizium und Aluminium. Der Suszeptor kann an die spezifische Substratgröße angepasst werden. Der Gaskrümmer verfügt über separate Zuleitungen und Abgasleitungen mit Steuerung der Durchflussraten und des Strömungsprofils. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist in der Lage, Hochtemperaturprozesse, bis zu 1100 ° C bei 100Torr. Es kann auch eine schnelle thermische Verarbeitung bei Temperaturen bis 1250 ° C ermöglichen. ALPHA-303 I beinhaltet ein Ablaufsteuerprogramm für die Einzelwaferbearbeitung und Stapelverarbeitung. Es ermöglicht dem Benutzer, bestimmte Sequenzen zu entwerfen und Prozesse zu wiederholen. Das System bietet auch Funktionen zur Fernüberwachung und Datenprotokollierung, sodass der Benutzer das Temperaturprofil und den Einheitenstatus von praktisch überall überprüfen kann. ALPHA 303 I ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Diffusionsofenmaschine. Es bietet überlegene Vakuumleistung und schnelle Zykluszeiten bei gleichzeitiger Gewährleistung der Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit des Prozesses. Mit seinen integrierten Sicherheitsfunktionen und flexiblen Automatisierungsfunktionen ist es ideal für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen.