Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658609 zu verkaufen
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ID: 293658609
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Diffusion furnace, 12"
Type: Automation
Heater
Process chamber
Temperature
Controller
Scavenger cooling water unit
Gas supply unit
Exhaust vacuum line
Power box
Pump box
Rapid cooling unit
Missing parts:
Quartz wares
Process tube
APC: CKD
Gas: PN2, O2, HC
KAWASAKI MECHA
FUIIKIN EC Air valve
Power supply:
AC 440V, 3 Phase
AC 100V, Single Phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und Zubehör für die hochpräzise Wärmebehandlung von Siliziumscheiben. Dieses System nutzt einen ultraschnellen Dreizonenofen mit einstufiger, niedriger Leistung, HF-basierter Widerstandsheiztechnologie. TEL ALPHA-303I Einheit ist modular aufgebaut, was eine einfache und effiziente Erweiterung auf die Bedürfnisse der Kunden ermöglicht. Darüber hinaus ist der Ofen mit einer Heizschild-planaren Magnetron-Sputterquelle, mehreren höhenverstellbaren Be- und Entladeregeln und einem Gaseinlaßkrümmer ausgebildet. Die Temperaturgleichmäßigkeit von TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist aufgrund des einzigartigen Drei-Zonen-Ofenaufbaus, der fortschrittliche P.I.D. Control verwendet, unübertroffen. Dadurch wird sichergestellt, dass die gewünschte Prozesstemperatur im gesamten Kammerinneren genau und schnell eingehalten wird. Ein patentiertes, neuartiges Katalysatormaterial sorgt zudem für Wiederholbarkeit und verbesserte Prozessstabilität. Der Ofen ist auch für hochgenaue Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt, wie z.B. eine Temperaturgleichförmigkeit von bis zu ± 2 ° C über die gesamte Kammer. ALPHA 303 I ist auch für einfache Wartung und Bedienung konzipiert. Der Ofenaufbau ist für einen schnellen und einfachen Zugang zu allen Elementen in Kammer und Maschine über Edelstahl-Zugangsdeckel an der Rückseite und am Boden des Ofens ausgelegt. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer leistungsstarken Absaugeinrichtung ausgestattet, die eine effektive Abgasentnahme während des Bearbeitungszyklus ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass während des Prozesses keine gefährlichen Dämpfe entstehen. Weitere Merkmale von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I sind ein leistungsstarkes Mikroprozessor-Steuermodell zur Überwachung und Anpassung der Ofenparameter wie Heizzeiten und Temperaturen. Dies gewährleistet einen genauen und zuverlässigen Prozess in jedem Zyklus und die Fähigkeit, die Parameter für die zukünftige Verwendung zu speichern. Das Gerät ist auch mit einem automatischen Wafer-Ladesystem ausgestattet, das hilft, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Produktivität des Geräts zu verbessern. Alpha 303i ist eine zuverlässige und fortschrittliche Diffusionsofenmaschine, die hochpräzise Wärmebehandlungslösungen für Siliziumwafer bietet. Der modulare Aufbau des Ofens ermöglicht eine einfache Erweiterung und das leistungsstarke Mikroprozessor-Steuerwerkzeug sorgt jedes Mal für einen genauen und wiederholbaren Betrieb. Darüber hinaus sorgt die niedrige Wattleistung HF-basierte Heiztechnologie für eine genaue Erwärmung und der Gaseinlasskrümmer für eine effektive Abgasabfuhr. Dieser Diffusionsofen ist ideal für diejenigen, die eine zuverlässige und präzise Wärmebehandlungslösung für Halbleiterbauelemente suchen.
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