Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293660114 zu verkaufen
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ID: 293660114
Weinlese: 2007
LPCVD Furnace
Process: TEOS
Heater: VMM-56-002
FUIIKIN Air valve
APC: CKD
Gas: N2-1, Pure N2-1, O2, TEOS CG100, N2-2
Power supply: AC 208V, 3-Phase, Single-Phase
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur Herstellung von hochreinen Halbleitern und anderen Materialien bei hohen Temperaturen. TEL ALPHA-303I kann Temperaturen bis 1250 Grad Celsius erreichen und ist mit einem elektrischen Widerstandsofen und einem eingebauten Lüfter zur Kühlung ausgestattet. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I verfügt auch über ein Gasfiltrationssystem, das in der Lage ist, die Reinheit der Kammer durch die Beseitigung von mikroskopischen Staubpartikeln zu erhalten. Die gesamte Vorrichtung ist aus hochwertigem Edelstahl gefertigt und mit einer isolierten Tür zur Aufrechterhaltung der Temperaturstabilität und einem fortschrittlichen Sicherheitssystem zum Bedienerschutz ausgestattet. Der Ofen verwendet ein Wirbelheizverfahren, um eine gleichmäßige Erwärmung und Temperaturgleichförmigkeit im Ofen zu erreichen. Das Wirbelheizverfahren verwendet eine Gasleitung, eine Gaseinspritzung und einen Vibratorrührer, der das Gas aus der Leitung und der Einspritzdüse kombiniert, um eine Form von Wirbelstrom zu erzeugen. Diese Wirbelheizmethode ermöglicht einen sanfteren Temperaturanstieg sowie eine schnellere Aufheizzeit. ALPHA-303I hat ein Innenvolumen von 50 Litern und arbeitet mit verschiedenen Gasen wie Sauerstoff, Methan, Argon und Stickstoff. Es ist auch mit mehreren Ladungsmaterialien wie Kieselsäure, Siliciumverbindungen, Aluminiumoxid, Nitrid und Karbiden verträglich. Darüber hinaus verfügt TEL ALPHA-303 I auch über eine AZS-Funktion (Automatic Zone Setting), mit der unterschiedliche Bedingungen wie Temperatur-, Gas- und Substrattypen für jede Prozesszone innerhalb des Ofens eingestellt werden können. Mit TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I können Anwender saubere und hochwertige Produkte wie Halbleiter, Solarzellen und andere Elektronik erzielen. Die Raffinesse und Präzision von Alpha 303i ermöglicht eine gleichmäßige Erwärmung und Kühlung auf jedem einzelnen Wafer, was zu verbesserter Produktqualität und Erträgen führt. Die Möglichkeit, unterschiedliche Bedingungen für jede Prozesszone festzulegen, verbessert die Fähigkeiten dieses Produkts weiter und bietet Benutzern die Möglichkeit, die Funktionalität der Maschine an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I ein leistungsstarker Diffusionsofen und Zubehör, der für die Bedürfnisse der modernen Fertigungsindustrie entwickelt wurde. Seine Fähigkeit, mehrere Substratmaterialien und Gase zu handhaben, macht es zu einem vielseitigen und zuverlässigen Werkzeug für die Herstellung einer breiten Palette hochwertiger, einwandfreier Produkte.
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