Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293754732 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur Herstellung von Halbleiterqualitätsprodukten. Es kann in einer Vielzahl von Verfahren wie Diffusion, Oxidation und LPCVD verwendet werden. TEL ALPHA-303I hat sowohl manuelle als auch vollautomatische Funktionen, die es extrem einfach zu bedienen machen. Es eignet sich auch für kleine Serien und ermöglicht höhere Ausbeuten durch verbesserte Prozesskontrolle und -überwachung. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I maximale Leistung ist 110kW, mit einstellbarer Leistung und Temperaturprofilierung. Die Kammerabmessungen haben einen Durchmesser von 35,4 cm und eine Tiefe von 35 cm mit der maximalen Substratgröße bei 300mm Durchmesser. Der Ofen verfügt über 6 Heizzonen mit beheizten Suszeptoren und einer vollen Stickstofffähigkeit. Dies ermöglicht Zielstudien wie Auswertungen von Oxidation, Verunreinigungsdiffusion, Silizidierung und Mehrschichtabscheidung. Darüber hinaus kann eine Hochtemperaturprozessverträglichkeit bis und über 1100 ° C vorgesehen werden. Die TEL Alpha 303i verfügt außerdem über bis zu 6 Gaseingangskanäle durch das Gaseinspritzsystem und ein optionales In-situ-Messsystem, das in Echtzeit Rückmeldungen zur Steuerung von Parametern wie Temperatur und den verschiedenen Gasen in verschiedenen Prozessstufen liefert. Es kann auch verschiedene Quellen zum Heizen akzeptieren, einschließlich 50/60 Hz Leistung und ausgewogene/unausgewogene Wechselstromquellen. Schließlich bietet TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I Rezepte, die ein einfaches Speichern, Bearbeiten und Laden von Rezepten ermöglichen. Dies macht es äußerst benutzerfreundlich für Ingenieure, Techniker und Produktionspersonal gleichermaßen. Die Ausrüstung verfügt auch über werkseitig installierte Sicherheitsfunktionen wie E-Stop, Übertemperatur- und Druckalarme sowie Brandmeldeanlagen. TEL/TOKYO ELETRON ALPHA-303I ist ein ausgezeichneter Diffusionsofen und Zubehör für eine Vielzahl von Halbleiterproduktionsanwendungen. Es ist einfach zu bedienende Funktionen machen es eine gute Wahl für diejenigen, die ihre Produktionserträge zu erhöhen, während die Durchführung von qualitativ hochwertigen Prozessen.