Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9186622 zu verkaufen
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ID: 9186622
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TOZS Anneal (Tones SilaZene)
Main top cover
WVG
I/O Unit
I/O Top cover
Loadport
Back door
Exhaust box
Operation panel
Gas box
Power box
RCU
RCU 1
RCU 2
Heater chamber
RCU Duct
(3) Parts boxes
NDU
Lot capability: 50
Process speed per unit time:
Wafer CHG, loading: 40
Process: 2H
Wafer DIS-CHG, un-loading: 40
Clock bandwidth: 60 Hz
Frequency: 60 Hz
Power:
208 V, 200 A, 3 Phase (Heater)
200 V, 40 A, 1 Phase (Controller)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör für die Hochleistungs-Halbleiterherstellung. Dieses fortschrittliche Tool verfügt über modernste Technologie und Funktionen, um eine präzise Kontrolle über den Diffusionsprozess zu gewährleisten und die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente mit außergewöhnlichen Leistungsmerkmalen zu ermöglichen. Kernstück des TEL ALPHA-303I Systems ist der Diffusionsofen, der ein entscheidendes Bauelement bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen ist. Der Ofen ist mit mehreren Heizzonen ausgestattet, die jeweils über eine unabhängige Temperaturregelung verfügen und eine präzise Temperaturprofilierung während des Diffusionsprozesses ermöglichen. Diese Steuerung ist wesentlich, um einheitliche Diffusionsprofile zu erzielen und Prozessschwankungen über die Waferoberfläche zu minimieren. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I unit ist so konzipiert, dass es eine breite Palette von Prozessgasen und Dotierstoffen aufnimmt und eine individuelle Anpassung des Diffusionsprozesses an die spezifischen Anforderungen verschiedener Halbleiterbauelementanwendungen ermöglicht. Die Maschine verfügt über fortschrittliche Gaszufuhrsysteme und Massendurchflussregler, um genaue und reproduzierbare Gasdurchflussraten sicherzustellen, die für die Erzielung konsistenter Dotierungsstufen und Geräteleistungen unerlässlich sind. Neben dem Diffusionsofen umfasst das TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I Tool eine Reihe von Zubehörteilen und Peripheriegeräten, um effiziente und zuverlässige Halbleiterherstellungsprozesse zu unterstützen. Dieses Zubehör kann Lastschlösser für das Be- und Entladen von Wafern, Wafer-Handling-Roboter für den automatisierten Wafer-Transfer sowie Prozessüberwachungs- und Steuerungssysteme für die Echtzeit-Prozessoptimierung umfassen. Eines der wichtigsten Merkmale von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I Asset ist seine erweiterte Prozesskontrolle Fähigkeiten. Das Modell ist mit ausgeklügelten Steuerungsalgorithmen und Software ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung wichtiger Prozessparameter wie Temperatur, Gasdurchfluss und Druck ermöglichen. Auf diese Weise können Bedienungspersonen Abweichungen von den gewünschten Prozessbedingungen schnell erkennen und korrigieren, wodurch eine konsistente und wiederholbare Geräteleistung gewährleistet ist. TEL ALPHA-303 I Geräte sind auch für einfache Bedienung und Wartung konzipiert, mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche, die Bedienern eine intuitive Kontrolle über die Systemparameter bietet. Das Gerät ist mit Diagnosewerkzeugen und Selbstkalibrierroutinen ausgestattet, um eine optimale Maschinenleistung zu gewährleisten und Ausfallzeiten durch Wartung oder Kalibrierung zu minimieren. Insgesamt ist ALPHA-303 I ein vielseitiges und leistungsstarkes Diffusions- und Zubehörwerkzeug, das den hohen Anforderungen der modernen Halbleiterherstellung gerecht wird. Mit fortschrittlicher Technologie, präziser Prozesssteuerung und zuverlässiger Leistung ist ALPHA-303I ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente mit außergewöhnlichen Leistungseigenschaften.
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