Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9229590 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9229590
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Diffusion furnace, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der von TEL (TOKYO ELECTRON) für den industriellen Einsatz entwickelt und hergestellt wurde. Dieser Diffusionsofen ist in einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiterherstellung, Photovoltaik-Zellherstellung und Ätzverfahren weit verbreitet. Es handelt sich um eine integrierte Ausrüstung, die einen Typ 30 Wafertron Ofen, einen Alpha 30 Wafer Carrier und ein Alpha 8 Dual-Chamber Flattening Tool umfasst. Der Wafertron-Ofen Typ 30 ermöglicht eine Temperaturregelung bis 1150 ° C sowie eine eingebaute Rückblasfunktion, die einen diffusionsarmen Prozess ermöglicht. Dieser Ofen beherbergt auch ein zweizoniges „Z-Achsen“ -System, das ein gleichmäßiges Temperaturfeld zwischen der heißen und der kalten Zone beibehält, um ein enges Temperaturprofil zu gewährleisten. Der Alpha 30 Wafer Carrier ist für die Handhabung von Wafern verschiedener Größen ausgelegt und kann Wafer bis zu 6 "(150 mm) Durchmesser durch den Ofen bewegen. Es ist mit Luftkissen und Stützen ausgestattet, die einen reibungslosen und sicheren Transport gewährleisten. Das Alpha 8 Zweikammer-Flachmacherwerkzeug verwendet im Diffusionsofenzubehör die neueste Technologie, die ein schnelles, kontrolliertes pneumatisches Abflachen ermöglicht. Diese Einheit ermöglicht eine genauere Steuerung der Waferdicke durch Druckbeaufschlagung der Kammer und anschließendes Freigeben des Druckes, um den Wafer automatisch abzuflachen. TEL ALPHA-303I bietet zuverlässige und effiziente Leistung durch sein innovatives Design und seine fortschrittlichen Funktionen und ist damit eine bevorzugte Wahl für den industriellen Einsatz. Es kombiniert Präzisionstemperaturregelung mit modernisiertem Kammerdesign, so dass der Anwender die für verschiedene Anwendungen erforderlichen präzisen Parameter erreichen kann. Diese Maschine wird auch von erfahrenen Ingenieuren unterstützt, die technische Unterstützung bei Bedarf zur Verfügung stellen.
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