Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251681 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9251681
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
LPCVD Systems, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i (TEL) Diffusionsofen ist eine Hochleistungseinheit für eine schnelle, effiziente Diffusion einer Vielzahl von Metallen, Legierungen und intermetallischen Verbindungen. Es verfügt über eine automatisierte Steuerung, die eine schnelle und präzise Wiederholbarkeit von Prozessparametern ermöglicht und somit eine ideale Wahl für Diffusionsprozesse mit hohem Durchsatz darstellt. TEL ALPHA-303I verfügt über ein partikelableitendes Wärmeübertragungssystem mit Drei-Zonen-Unterstützung, die jeweils mit einer separaten Temperaturregelung und einem Satz unabhängig einstellbarer Gasströme ausgestattet sind, um eine hochpräzise Temperaturregelung zu unterstützen. Die Kammer ist für eine schnelle thermische Regeneration ausgelegt und beinhaltet eine kulthochdosierte Partikelsammeleinheit zur Erfassung von Verunreinigungen bis zu 0,05 Mikrometer. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist auch mit einem Hochtemperatur-Keramikreflektor ausgestattet, der die Strahlung von den internen Heizgeräten für maximale Heizleistung lenkt, und übergroße Kammerwände, die Strahlungsverluste reduzieren sollen. Die geringe Trägheit sorgt für schnelle Heizzeiten und schnelle Anlaufzeiten. TEL Alpha 303i ist mit einer benutzerfreundlichen, menügesteuerten Bedienoberfläche ausgestattet, die es ermöglicht, auf Prozessparameter zuzugreifen, Parameter zu überwachen, Zeit-/Temperaturprofile festzulegen, Gasdurchflussraten anzupassen und Sicherheitsparameter festzulegen. Das Touchscreen-Display ermöglicht auch eine detaillierte Bearbeitung und Fernüberwachung per Webserver. Zusätzlich zu diesen erweiterten Funktionen ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie thermische Abschaltkreise, Drucksicherheitsschalter, abgedichtete Gasanschlüsse und extreme Temperaturalarme. Diese Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für High-Containment-Herstellungsprozesse, die höchste Sicherheit und Genauigkeit erfordern. Insgesamt ist ALPHA-303 I Diffusionsofen eine zuverlässige, effiziente und sichere Einheit für die Verarbeitung einer Vielzahl von Metallen, Legierungen und intermetallischen Verbindungen. Seine automatisierte Steuermaschine ermöglicht eine präzise Wiederholbarkeit von Prozessparametern und seine fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale machen es zu einer wünschenswerten Wahl für High-Containment-Herstellungsprozesse.
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