Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9269364 zu verkaufen
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ID: 9269364
Weinlese: 2008
Vertical diffusion furnace
I/O Unit: EFEM
Vacuum box
Heater
Back door
I/O Top cover (Top front)
FNC Top cover (Top rear)
Load port
Operation panel
Power box
Power box reck
Vacuum box cover
Front cover
Weight steel plate
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das für die Bedürfnisse der Mikroelektronikindustrie entwickelt und hergestellt wurde. Es ist ein einziger Waferofen, der maximale Temperaturregelung, minimierte Ausfallzeiten und verbesserte Ausbeute bietet. TEL ALPHA-303I verfügt über eine einzige Wafer-Prozesskammer, die rein aus Edelstahl gefertigt ist und eine hervorragende Leistung und langanhaltende Stabilität bietet. Das Gerät verfügt über eine integrierte Konstruktion mit einer 3-Wege-Rotation um 270 Grad, die eine gleichmäßige Erwärmung über die Ober- und Unterseite des Wafers ermöglicht. Das Heizgerät verwendet hochentwickelte indirekte Heizelemente, die mit einer Kombination aus High-End-Widerstandselementen und keramischen Heizelementen aufgebaut sind und einen großen Temperaturbereich von bis zu 1300 ° C ermöglichen. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I verwendet ein revolutionäres 16-Zonen-Atmosphärenkontrollsystem, bestehend aus Radial-Flow-Typ-Vorbereitungskammer und Legierungsgas-Abgaszellen. Die Temperatur in jeder der 16 Zonen wird unabhängig und kontinuierlich überwacht, was eine engere Temperaturregelung und eine verringerte Wärmeproduktivität ermöglicht. Durch seine proprietäre RAD-setzende Innenwandstruktur entfällt auch die Notwendigkeit von Kühlmittelstrahlern, wodurch die Kosten erheblich gesenkt werden. Die High-End-Optionen von TOKYO ELECTRON ALPHA-303I bieten noch mehr Effizienz und Produktivität. Es verfügt über einen fortschrittlichen Stromversorgungswandler, bietet eine breite Palette von Ausgangsstrom, die verwendet werden kann, um gewünschte Temperaturen zu erreichen. Darüber hinaus erhalten der hochpräzise Massenstromregler und die Triple-Ventil-Steuereinheit eine stabile Innenatmosphäre und nutzen eine breite Palette von Gasoptionen. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I wurde entwickelt, um mehrere zusätzliche Funktionen bereitzustellen. Die eingebaute Lock-Down-Taste, die Notwarnschaltung und die Auto-Stop-Maschine wurden entwickelt, um Unfälle zu verhindern und eine sichere Betriebsumgebung zu sichern. Das fortschrittliche Sicherheitsalarmwerkzeug gibt bei Bedarf auch eine Warnung aus. ALPHA 303 I ist die perfekte Wahl für jedes Mikroelektronik-Labor. Es bietet zuverlässige Heiztemperaturen mit ausgezeichneter Kontrolle und Stabilität, alles in einem hocheffizienten Paket.
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