Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311031 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein leistungsstarker, leistungsstarker Diffusionsofen und dazugehöriges Zubehör. Es ist für die Hochleistungsfertigung von Halbleiterbauelementen durch integrierte Prozesse wie Glühen, CVD und Oxidation ausgelegt. Diese Ausrüstung ist ideal für eine Reihe von Halbleiterbauelementanwendungen wie Leiterbahnen, flache Grabenisolierung, MOSFET und entstehende Geräteherstellung. TEL ALPHA-303I verfügt über eine Drei-Zonen-Konfiguration für hohe Leistung, einfache Bedienung und Skalierbarkeit, die den Kundenbedürfnissen entspricht. Seine oberen und unteren Quarzofenrohre sind jeweils in zwei getrennte, unabhängig betriebene Zonen unterteilt. Das System ist außerdem mit einer induktiven Heizbodenzone ausgestattet, die eine gleichmäßige Temperaturregelung fördert, um optimale Prozess- und Ausbeute-Ergebnisse zu erzielen. Zusätzlich kommt TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I mit einer Vielzahl von Steuerungssystemen, um Sicherheit und Genauigkeit zu gewährleisten. Es verfügt über einen Passivated Emitter Contact (PEC) Regler zur integrierten Kammerdruckregelung. Dadurch wird die rückseitige Haftung der erhitzten Folien minimiert. Das fortschrittliche Design von TEL ALPHA 303 I fördert auch wiederholbare Prozesse und bietet eine optimierte Wiederholbarkeit von Prozessen in einer stabilen Umgebung. Darüber hinaus ist der Ofen mit einer automatischen Spüleinheit ausgestattet, die einen schnellen Gasaustausch ermöglicht und die chemische Reaktion von Restgasen mit erhitzten Folien reduziert. Es gibt auch eine Gasanalyseeinheit, die verwendet wird, um die Gase innerhalb des Ofens leicht zu überwachen, wodurch optimale Prozessbedingungen gewährleistet werden. Weiterhin kann eine optionale Abgasaufbereitungseinheit an die obere Zone angeschlossen werden. Schließlich verfügt TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I über einen großen Temperaturbereich und bietet Temperaturen bis zu 1150 ° C. Es bietet auch Innovationen wie Drucksicherheitsventile, Staubsammler für das obere Rohr und gekühlte Werkstückhalter für das untere Rohr. Damit eignet es sich für eine Vielzahl von Anwendungen, bei denen eine präzise Steuerung von Prozessparametern, hoher Durchsatz und fortschrittlicher Ausbeute unerlässlich ist. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I Diffusionsofen eine hocheffiziente Maschine, die die Herstellung von Hochleistungsgeräten erleichtert. Es verfügt über eine Drei-Zonen-Konfiguration, einen breiten Temperaturbereich und eine Vielzahl von Steuerungssystemen, die Sicherheit und Genauigkeit gewährleisten. Diese Eigenschaften machen ALPHA-303 ich die ideale Wahl für eine Vielzahl von Halbleiterbauelementanwendungen.