Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9379788 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Zweikammer-Hochtemperatur-Diffusionsofen mit thermischem Vakuum, der in der Halbleiterverarbeitung verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine präzise thermische Kontrolle der Verarbeitungsbedingungen zu gewährleisten, um die Gleichmäßigkeit von dünnen Filmen und anderen molekularen Wechselwirkungen zu gewährleisten. TEL ALPHA-303I verfügt über zwei unabhängige Source/Drain-Kammern, die bei unterschiedlichen Temperaturen betrieben werden können. Jede Kammer enthält ein unabhängiges Heizsystem mit Hochtemperaturisolierung und Präzisionstemperaturregelung. Der Verteilungsbereich des Ofens beträgt 40-1000 ° C mit einer Gleichmäßigkeit von ± 5 ° C. Die beheizte Zone wird mit Keramikrohren erreicht und ist mit einer Reihe von Zubehör für genauere Kontrollen ausgestattet. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I verfügt außerdem über ein aktives Lastschloss mit einem Schutzklappenventil, um Stickstoff und andere Gase in der Verarbeitungskammer zu halten. Das Vakuumsystem kann in beiden Kammern einen Basisdruck von weniger als 133 mTorr erreichen. Zusätzlich ist der Ofen mit einem Gasstromregler und Vakuum/Druckmessgerät ausgestattet, um eine genaue Überwachung der Prozessparameter zu ermöglichen. Die Beladungs- und Verarbeitungsstufen der Dünnschichtabscheidung können mit GEMs In-Situ Prozesssteuerungssoftware automatisch sequenziert werden. Diese Software bietet auch Datenprotokollierung und umfassende Befehle für die Prozesssteuerung. Der Ofen ist mit einer digitalen Schnittstelle RS-232 indiziert, um eine Fernbedienung über einen PC zu ermöglichen. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I umfasst auch eine Vielzahl von Zubehör, wie Waferheber, Wafer-Transferboxen, Bootslifte und Probenhalter. Dieses Zubehör ermöglicht ein effizientes Be- und Entladen von Materialien. Der Ofen umfasst auch einen integrierten Helium-Lecksucher und ein Graphit-Hitzeschildgehäuse, das Wärmeübertragung und Energieverbrauch reduziert. Schließlich ist TEL Alpha 303i entwickelt, um alle relevanten Sicherheitsstandards zu erfüllen und verfügt über eine Vielzahl von visuellen und hörbaren Indikatoren, um den Bediener auf alle Prozessfehler aufmerksam zu machen. Der Ofen verfügt auch über einen Luftvorhang, um den Bediener während des Betriebs zu schützen. Dieser hochentwickelte Diffusionsofen eignet sich hervorragend für F&E und die Herstellung von Halbleitern und anderen Komponenten, die eine präzise Temperaturverarbeitung erfordern. Mit seiner Kombination aus robuster Konstruktion, Präzisionstemperaturregelung, einstellbaren Wärmezonen und umfassender Prozesssteuerungssoftware bietet TOKYO ELECTRON ALPHA-303I ein unvergleichliches Leistungsniveau.