Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9398273 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen, der für anspruchsvolle Geräte zur Endoxidation und CVD verwendet wird. Die Vorrichtung ist insbesondere für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, einschließlich dynamischem Random-Access-Speicher (DRAM), Flash-Speicher und mikroelektronischer Geräteherstellung, ausgelegt. Dieser Diffusionsofen hat viele Merkmale, wie eine beeindruckende Temperaturgleichmäßigkeit von ± 2 ° C, eine präzise Temperaturregelung mit einer Zeigegenauigkeit von ± 1 ° C und einen weiten Temperaturbereich von 200 ° C - 1200 ° C. Darüber hinaus verfügt es über ein leichtes und kompaktes Wafer-Heizschüssel-Design mit einer Bogenform, um eine schnelle Wafer-Heizung zu ermöglichen. Darüber hinaus ist TEL ALPHA-303I mit verschiedenen Zubehörteilen wie einem Multi-Gas-Dock, einem Gaspanel und anderen Peripherieinstrumenten ausgestattet. Es ist auch in eine TEL Glove Box integriert, um eine effektive Handhabung von Wafern, Prozessgasversorgung und Steuerung der Vakuumerzeugung zu ermöglichen. Zusätzlich ermöglicht das Alphabet-Suppenkantenwerkzeug ein glattes Kantenprofil auf den verarbeiteten Abschnitten. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist auch mit einem Equipment Controller ausgestattet, der eine einfache und zuverlässige Bedienung und Überwachung ermöglicht. Dazu gehören eine intuitive Bedienoberfläche und ein Selbstdiagnosesystem, das Fehler automatisch erkennen kann. Es hat auch eine Hochdruckabsperreinheit zum Schutz von Wafern vor Beschädigungen durch Überdruckbeaufschlagung. Schließlich wird TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I von einer DC Bias Machine betrieben, die die Verarbeitung von FinFET-Geräten ermöglicht. Insgesamt ist TEL Alpha 303i ein leistungsfähiger und zuverlässiger Diffusionsofen, der sich hervorragend für die Herstellung von Halbleiterbauelementen eignet. Es bietet ein hohes Maß an Temperatur Gleichmäßigkeit und Genauigkeit, sowie verschiedene Zubehör für einfache Bedienung.