Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9412408 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9412408
Wafergröße: 12"
Furnaces, 12" 2005-2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i ist ein Diffusionsofen und Zubehör-Einheit für Folienabscheidung, Batch-Prozess und Single-Wafer-Prozess verwendet. Diese Einheit ist ideal für die Herstellung dünner Filme auf verschiedenen Substraten wie Silizium, Oxid und Nitrid. Es ist effizient, kostengünstig und in der Lage, hochwertige Folien zu produzieren. TEL ALPHA-303I besteht aus drei wesentlichen Komponenten: dem Diffusionsofen, der Waferkassette und der Ladeschloßkammer. Der Diffusionsofen ist eine abgedichtete Kammer, die mit einem Hochtemperaturgas, wie einem Inertgas, Ammoniak und Wasserstoff, gefüllt ist, um extrem hohe Temperaturen zu erreichen. Dies dient sowohl zum Verdampfen des Materials als auch zum Aufbringen auf das Substrat. Die Waferkassette enthält bis zu vierundfünfzig Stück Zweizoll-Substrate und ist für die Zuführung des Materials zum Ofen verantwortlich. Die Lastschloßkammer dient dazu, Substrate ohne Verschmutzung schnell in das Gitter zu überführen. TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I ist mit vielen fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, darunter ein Mehrzonen-Temperaturregler, eine Substratheizung, ein Quarzduschkopf und eine leistungsstarke keramische Infrarot-Konvektionsheizung. Der Mehrzonen-Temperaturregler ermöglicht eine Temperaturgenauigkeit und Kontrolle über die Kammer, während das Heizsystem die Temperatur der Substrate regelt. Der Quarzduschkopf sorgt für eine gleichmäßige Gasverteilung über das Substrat und hilft die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Folie zu verbessern. Die keramischen Infrarot-Konvektionsheizungen sorgen für eine genaue und konsistente Erwärmung des Substrats und geben dem Benutzer eine vollständige Kontrolle über die Dicke und Zusammensetzung des Films. Dieses Gerät ist außerdem mit einer Sicherheitseinheit ausgestattet, die den Bediener vor gefährlichen Situationen schützen soll. Es verfügt über eine eingebaute Sicherheitsmaschine zur Verhinderung eines unbefugten Zugriffs und ein Druckregelwerkzeug, das den Druck innerhalb der Diffusionskammer überwacht. Darüber hinaus verfügt Alpha 303i über eine Überwachungseinrichtung, die die Temperatur, den Druck und andere Parameter im Diffusionsofen misst, sowie über medizinische Gase und Abgassysteme, die den sicheren und effizienten Betrieb der Einheit erleichtern. ALPHA 303 I ist eine leistungsstarke, zuverlässige und wartungsfähige Diffusionsofen- und Zubehöreinheit. Es bietet eine präzise Temperaturregelung und ein automatisiertes Verfahren zur Herstellung von hochwertigen Folien für eine breite Palette von Substraten. Mit seiner Vielzahl an erweiterten Funktionen ist es eine ideale Wahl für Forschung und kommerzielle Anwendungen.
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