Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9071279 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9071279
Diffusion furnace
Silicon Carbide
Vertical technology
Process tubes, tube, liner tubes, outer tubes
Pedestals
Boats, wafer carriers, carriers.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8 ist ein Diffusionsofen & Zubehör, hergestellt, um die effizienteste und wirtschaftlichste Leistung für Dünnschichtabscheidungsoperationen zu bringen. TEL Alpha 8 verfügt über eine vollständige Palette fortschrittlicher Prozessfähigkeiten und eine revolutionäre Steuerungsarchitektur, die die Einrichtung, Anpassung und Überwachung des Ofens einfacher und effizienter macht als je zuvor. Die ergonomisch gestaltete und intuitive Software ermöglicht es dem Bediener, Parameter, Programme und Zugriffsdaten schnell und genau anzupassen. Das proprietäre, emissionsarme Design liefert einen sauberen, effizienten Ofen, der ein gleichbleibend hochwertiges Produkt produziert. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 verfügt über eine geräumige Kammer für bis zu vier Wafer mit 2 "Durchmesser und große Substrate. Das geräumige Design ermöglicht viel Platz, um Donut-Quellen und andere Elemente innerhalb der Kammer anzupassen. Die Hochtemperaturfähigkeit von TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 erreicht bei Anwendungen mit schnellem thermischem Prozess (RTP) bis zu 1275 ° C und bei statischen Anwendungen bis zu 550 ° C. Doppelwandige Konstruktion bietet ausgezeichnete Isolierung zwischen den Wänden, verhindert Wärmeverlust und Maximierung der Temperaturgleichförmigkeit. Die beheizte Kammer ist mit einer Dampfquelle zum Einbringen von Reaktanden in das System ausgestattet, zusätzlich zu einem patentierten Dreiwegeventil, das dafür sorgt, dass die Kammer jederzeit isoliert und gespült werden kann. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur von ALPHA-8 wird durch eine fortschrittliche Abgasanlage aufrechterhalten, die für eine Vielzahl von Abscheidungstechniken eingestellt werden kann. Das integrierte Datenerfassungssystem ermöglicht es den Betreibern, vergangene Daten zu überprüfen, um störende Parameter zu untersuchen oder Prozessanpassungen vorzunehmen. Parameter, Programme und Einstellungen können auf einer Speicherkarte gespeichert werden, sodass Benutzer Programminformationen schnell und einfach auf mehrere TOKYO ELECTRON Alpha 8-Einheiten übertragen können. Die Verwendung eines integrierten Widerstandsmessers bietet Feedback zur Filmresistenz, sodass Benutzer Änderungen in den Prozessbedingungen verfolgen und die Einstellungen bei Bedarf anpassen können. Um eine optimale Produktivität zu gewährleisten, ist TEL ALPHA-8 mit einem Mehrzonen-Controller ausgestattet, um mehrere Zonen mit einem Controller zu steuern. Alpha 8 bietet Anwendern eine Reihe optionaler Zusatzfunktionen wie einen Drehwafer-Suszeptor für die Winkelabscheidung, ein Quarz-Viewer-Fenster zur Beobachtung der Filmabscheidung und eine Ionenquelle für RTP-Anwendungen. Alle diese Funktionen bieten erweiterte Funktionen für eine Vielzahl von Anforderungen und Prozessen. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8 bietet Anwendern einen fortschrittlichen und zuverlässigen Diffusionsofen und Zubehör, um alle ihre Abscheidungsanforderungen zu erfüllen. TEL Alpha 8 ist eine wirtschaftliche und sichere Wahl mit intuitiven Funktionen, fortschrittlicher Steuerungsarchitektur, Mehrzonensteuerung und ausgezeichneter Temperaturgleichmäßigkeit.
Es liegen noch keine Bewertungen vor