Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9373152 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9373152
Furnace, 8"
Process: Alloy
I/O Port
(126) Process wafers
No load lock
25-Carrier slots
Boat type: Single
PS4100Z Controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart: Front and rear
M120 Temperature controller
Controller transformer: 208 V, Single phase
Heater transformer: 208 V, 3-Phase
Gases:
Gas 1: PN2
Gas 2: FO (4%, H2/N2)
Gas distribution:
Basic style: Conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Air operated valve: FUJIKIN
AERA MFC
No cold trap
No pump line
Exhaust distribution:
Air operated valve type: VCR Connect
Main valve: FUJIKIN
Wafer / Cassette handling:
No wafer alignment
(16) Cassette storage
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer
Fork material: Ceramic
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: VMM-35-001
(5) T/C Type
(5) Spike T/C.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8 ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör, ideal für kleine technische, materialwissenschaftliche und mikroelektronische Anwendungen. Es vereint hohen Durchsatz, zuverlässige Produktion und überlegene Leistung, um die anspruchsvollsten Anforderungen zu erfüllen. TEL Alpha 8 verwendet eine horizontale Vierzonenquelle und ein fortschrittliches Waferband-Design. Diese Konstruktion ermöglicht einen erhöhten Durchsatz von bis zu 36 Wafern pro Stunde bei langen Prozesszeiten. Es verfügt über eine Bedienfeldansicht mit einem 10 "Farb-Touchscreen zur Überwachung und Steuerung aller Systemparameter. Das Gerät kann so programmiert werden, dass es sich an unterschiedliche Prozessbedingungen anpasst, wodurch die Kalibrierung schnell und präzise erfolgt. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 arbeitet bei einer maximalen Temperatur von 1045 Grad Celsius und verfügt über zwei Festkörper-HF-Heizsysteme und mehrere Gasquellen für eine präzise Temperaturregelung. Es bietet auch ein inertes Gas-Wellenleiter-System, das es ermöglicht, die Kammer zu erwärmen und zu kühlen. Zu den eingebauten Sicherheitsmerkmalen gehören mikrocomputergesteuerte Interlocks, Drucküberwachung, Temperaturüberwachung und ein spezielles Niedertemperatur-Not-Aus-System. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 verfügt über eine breite Palette von Zubehör, wie Gaspaneele, Druckregler, einen Prozessmonitor, einen Datenrekorder und separate Expander und Ladeeinheiten. Auch eine beheizte Probenlast steht zur Verfügung, die einen schnellen Temperaturübergang von einem Prozess zum anderen ermöglicht. Das Gerät wurde entwickelt, um die strengsten internationalen Sicherheitsanforderungen zu erfüllen und ist so konzipiert, dass es dem täglichen Verschleiß standhält. Insgesamt ist Alpha 8 eine ausgezeichnete Wahl für Forscher und Ingenieure, die einen sicheren und zuverlässigen Diffusionsofen benötigen. Es bietet überlegene Leistung und Präzisionskontrolle für eine Vielzahl von Materialwissenschaften und Mikroelektronik Anwendungen, und seine anspruchsvolle Bedienung und einzigartige Designfunktionen machen es zu einem der führenden Öfen auf dem Markt heute.
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