Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #293806761 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801D ist eine Diffusionsofen- und Zubehörsuite für die Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) und diskreten Halbleiterbauelementen. Es wurde entwickelt, um die High-Level-Technologie für die Herstellung integrierter Schaltungen zu treiben, die sich durch hohe Geschwindigkeit, hohe Wiederholbarkeit und hohe Gleichmäßigkeit der Ergebnisse auszeichnet. TEL Alpha 801D umfasst mehrere Komponenten. Alle Komponenten enthalten einen Touchscreen-Controller für Benutzereingabe und Bedienerrückmeldung. Der Benutzer kann den Prozessablauf programmieren und die Einstellungen in Echtzeit ändern. Dies ermöglicht die Anpassung an bestimmte Technologien. Der Ofen besteht aus einem Außenschrank, der ein horizontal ausgebildetes Quarzrohr mit variabler Stützhöhe aufnimmt. Die vertikale und horizontale Ausrichtung kann auf erhöhte Prozessgleichförmigkeit eingestellt werden. Das Quarzrohr ist mit zwei zweistufigen Axialventilatoren ausgestattet, die sowohl einen langsamen als auch einen schnellen Durchfluss (für schnelles Glühen) ermöglichen. Der Ofen enthält auch eine Gasanlage, die das System automatisch mit H2, Bildungsgas, N2, Ar oder S-2 bestromt. Der Ofen ist für Wafergröße bis 300mm mit einer maximalen Prozesstemperatur von 1150 ° C ausgelegt. Die Diffusionseinheit umfasst eine Stromversorgung, eine Quelle und einen Waferhalter. Die Stromversorgung nutzt einen Mittelfrequenz-Wechselrichter und Hochgeschwindigkeits-Schalttechnologien, die eine hochpräzise Prozesssteuerung ermöglichen. Die Quelle enthält ein resistives Target hoher Dichte und ein motorisiertes Quarzrohr, so dass der Benutzer ohne manuelles Umschalten zwischen Zielmaterialien wie Bor, Silizium und Leuchtstoff wechseln kann. Der Waferhalter ist zur Überdruck- und Ebenheitsregelung ausgelegt. Der Halter verwendet eine motorisierte Basis und eine Mehrzonen-Heizmaschine, so dass der Benutzer die Temperatur über mehrere Wafer unabhängig einstellen kann. TOKYO ELECTRON Alpha 801D bietet drahtlose Kommunikation zwischen dem Steuerungstool und entfernten Standorten. So können Benutzer Daten und Programmierung gemeinsam nutzen und Prozesse in Echtzeit überwachen. Ein Inspektionsposten ist ebenfalls enthalten, mit dem kritische Prozessparameter überwacht werden können. Alpha 801D Diffusionsofen und Zubehör Suite ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für IC und Halbleiterarbeit. Es bietet Automatisierung, hohe Präzision und verbesserte Gleichmäßigkeit für verbesserte Effizienz und Leistung. Das Modell ist für sehr große Wafergrößen konzipiert, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist.