Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803 #293609357 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803 ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen, konzipiert für innovative Prozesse und optimiert für High-End-Halbleiterbauelemententwicklung, präzise Produktion und Wirtschaftlichkeit. TEL Alpha 803 ist mit einem digitalen Hochgeschwindigkeits-Signalprozessor (DSP) zur präzisen Temperaturregelung und Parameteroptimierung ausgestattet. Die maximale Temperatur von 1100 ° C mit 3 ° C Gleichmäßigkeit wird durch seine heliumgekühlte Quarzrohrkammer mit vierseitiger Isolation erreicht, so dass sie für die Massenproduktion von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen wie Mikroprozessoren, Speicherchips und Leistungstransistor geeignet ist. Dieser Diffusionsofen ist einzigartig in seinem Kompatibilitätsbereich und unterstützt eine Vielzahl von Halbleitermaterialien und Substratkombinationen. Der Temperaturbereich von TOKYO ELECTRON Alpha 803 beträgt 50 bis 1100 ° C und ist somit für Diffusionsprozesse auf Gerätestufe geeignet. Mit einer Doppelzonenheizung kann die Temperaturdifferenz zwischen verschiedenen Teilen des Wafers präziser und effizienter gesteuert werden. Der Ofen ist zudem mit einem Schnellansprechsystem ausgestattet, das die thermische Gleichmäßigkeit über die Bramme erhöht und eine schnelle Erwärmung ohne thermische Schäden ermöglicht. Alpha 803 kommt mit einem Satz von fortschrittlichen Zubehör, einschließlich einem Verdampfer für Lösungsmitteldampfbehandlungen, einer Oxidations-/Verbrennungskammer für Hochfrequenz-Plasmabehandlungen und einem Reaktionsmonitor zur Überwachung chemischer Reaktionen und Rückkopplung auf Diffusionsraten. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803 hat auch eine extrem niedrige Druckkapazität, die eine Ex-situ-Beschichtung aus der Dampfkammer auch unter extremen Niederdruckbedingungen ermöglicht. Dies ist besonders vorteilhaft für die Herstellung von Wafern, da die Beschichtungsrate schneller ist und die Beschädigung von Vorrichtungen minimiert wird. Das automatisierte aktive Kühlsystem von TEL Alpha 803 ermöglicht hohe Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit, vorausschauende Skalierbarkeit von Systemen sowie einen automatisch erkannten Abgaskanal für die hochflussevakuierte Verarbeitung. Die eingebauten Programmprotokollfunktionen des Ofens sind auch zum Verfolgen und Abrufen vergangener Prozesse und Verlaufsdatensätze nützlich, was eine effektive Prozessoptimierung ermöglicht. TOKYO ELECTRON Alpha 803 ist ein benutzerfreundlicher, zuverlässiger und leistungsstarker Diffusionsofen, der für die Herstellung und Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen geeignet ist. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften ist es in der Lage, hochwertige Wafer mit extrem niedrigen Temperaturabweichungen herzustellen, was für die Mikrochip-Implantation unerlässlich ist. Daher ist Alpha 803 vor allem für Industriezweige mit großen Produktionsanforderungen von Nutzen.