Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9261383 zu verkaufen

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ID: 9261383
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Horizontal diffusion / Oxidation furnaces, 8" Process: Pyro Load lock Heater Stoker Cable duct (3) Panels Flange TS-4000Z TC Junction GPP Panel Process tube SiC Boat (2) Gas nozzles (3) Insulations (3) QUARTZ Parts Shutter QUARTZ Outer tube Insulation: Panel Mad Tube: Pyro Insulation Box: Relay Power Pipe: Vent Gas 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D ist eine hochentwickelte Diffusionsofen und Zubehör Ausrüstung, die Folienabscheidung und Ionen-Implantation Prozesse für die mikroelektronische Geräteherstellung zur Verfügung stellen soll. Es ist ein Doppelkammer, vertikale Mobilität verbesserte Diffusionsofensystem, das überlegene Prozesssteuerung bietet, die ein optimales Filmwachstum innerhalb machbarer Abscheidungszeiträume ermöglicht. TEL Alpha 803D Diffusionsofeneinheit verfügt über eine einzigartige Single-Source, Dual-Kammer-Ofen-Design, das mit sowohl massenbegrenzten und schweren Prozessen arbeitet, um verbesserte Gleichmäßigkeit, eine effektivere thermische Maschine, verbesserte Flüsse von Vorläufer Spezies, verringerte Schichtdicke Variationen und überlegene Diffusionsleistung zu bieten. Darüber hinaus verfügt das TOKYO ELECTRON Alpha 803D Tool über einen High-End Programmable Logic Controller (SPS), der eine vollständige Kontrolle über alle Asset-Funktionen einschließlich Temperatur-, Druck- und Zeiteinstellungen sowie eingebettete Sicherheitsfunktionen für den persönlichen Schutz bietet. Die Ofenkammer des Alpha 803D-Modells besteht aus 1 mm dickem Edelstahl und bietet einen Temperaturbereich von 100 bis 1 200 Grad Celsius (212 bis 2 192 Grad Fahrenheit). Die Kammer ist weiter mit MIMOT-verbesserter Steuerungstechnik ausgestattet, die Flexibilität und Präzision bei der Kontrolle der Temperatur und Gleichmäßigkeit in der gesamten Kammer bietet. Die Enhanced Mobility Technology (EMT) ist ein exklusives Mobilitätskontrollgerät, das arbeitet, um hochgleichmäßige, feine und wiederholbare Abscheidungsraten zu erzeugen und gleichzeitig eine erhöhte Diffusionslebensdauer zu gewährleisten. Mit all seinen fortschrittlichen Funktionen bietet das TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D System überlegene Genauigkeit, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bei Abscheidungs-, Ätz- und Implantationsprozessen. TEL Alpha 803D verfügt zudem über ein komplettes Sortiment an spezialisiertem Zubehör, darunter In-situ-Sensoren, eine hocheffiziente Partikelanalyse-Maschine, ein Echtzeit-optisches Diagnosewerkzeug und eine Mehrkanal-Gaslieferanlage. Dieses Zubehör verbessert die Flexibilität und Leistung der Anlage erheblich und bietet gleichzeitig ein außergewöhnlich hohes Maß an Sicherheit und Zuverlässigkeit. Darüber hinaus umfasst das TOKYO ELECTRON Alpha 803D Modell eine erweiterte CVD-Kammer, die arbeitet, um höchste Qualität und Abscheidungsgleichmäßigkeit zu erzeugen, um eine Vielzahl von Geräteherstellungsanwendungen zu ermöglichen. Insgesamt ist Alpha 803D Ausrüstung eine ideale Wahl für fortschrittliche mikroelektronische Geräteherstellung. Es verfügt über ein außergewöhnlich hohes Maß an Temperatur- und Gleichmäßigkeitskontrolle, unübertroffene Flexibilität mit seiner CVD- und MIMOT-verbesserten Steuerungstechnologie und eine komplette Reihe von spezialisiertem Zubehör, um ein effizientes und zuverlässiges Fertigungserlebnis zu bieten.
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