Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9287449 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D ist ein hochmoderner Diffusionsofen und Zubehör für die moderne Herstellung und Prozessentwicklung von Halbleiterbauelementen. Diese Produktlinie ist Teil der TEL-Reihe von Diffusionsöfen und bietet beispiellose Kontrolle und Leistung. TEL Alpha 803D ist ein vielseitiges Werkzeug für die Produktion und Entwicklung mit einem intelligenten Thermoelement-Eingangsregler für die Temperaturprofilierung und einem leistungsstarken digitalen Signalprozessor, der Prozessflexibilität bietet. Der Ofen ist mit einer leistungsstarken PC-basierten Echtzeit-Hard- und Software-Ausstattung für die digitale Heizzzonensteuerung und Zonenmessung ausgestattet. TOKYO ELECTRON Alpha 803D verwendet zwei leistungsstarke, widerstandsbeheizte Prozesskammern - einen inneren Tiegel und eine äußere Zone -, die gleichmäßige Temperaturen bei ausgezeichneter Stabilität aufweisen. Die äußere Zone wird von einem variablen Frequenzmotor angetrieben und umfasst ID und OD, PID/PIV und zeitliche Steuerung. Der Thermoelement-Eingangsregler bietet Temperaturprofilierung mit 5 Kurven, einschließlich Auto-Tuning, Kurvenmanipulation und Echtzeit-Feedback. Alpha 803D wurde entwickelt, um zuverlässige und reproduzierbare Ergebnisse in Anwendungen wie Diffusion, Oxidation, Nitridierung, Legierung, Glühen und andere Halbleiterverarbeitung zu gewährleisten. Mit einem Prozesstemperaturbereich von bis zu 1000 ° C, Regelgenauigkeit von ± 2 ° C und einer Gleichmäßigkeit von ± 3 ° C liefert dieses System konsistente und hochwertige Waferergebnisse. Es verfügt auch über einen automatisierten Prozessplan für eine einfache Bedienung und bietet detailliertes Feedback und Analyse des gesamten Prozesses. Weitere Merkmale von TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803D umfassen eine Multi-Gas-Fördereinheit, eine optionale Luft/Gas-Monitor und Lecksuchmaschine für die Sicherheit, einen Hochtemperatur-CCD-Kamera-Monitor und eine Auswahl an Suszeptoren. Die überlegene Leistung dieses Werkzeugs wird durch seine hochwertige Isolations-, Leckageschutz und Kammerabdichtungstechnik weiter verbessert. Zusammenfassend ist TEL Alpha 803D ein fortschrittlicher Diffusionsofen, der der Herstellung von Halbleiterbauelementen eine überlegene Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit bietet. Die Multi-Gas-Lieferung, der automatisierte Prozessplan und die Temperaturprofilierung und -kontrolle machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für Entwicklungs- und Produktionsanwendungen.