Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SC #293622215 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SC ist ein Diffusionsofen mit Zubehör zur Herstellung von Low-Cost Integrated Circuit (IC) Wafern. Es ist entworfen, um eine Vielzahl von Diffusionsbedürfnissen zu behandeln, einschließlich Oxidations- und thermische Oxidationsprozesse, während hochpräzise Prozesssteuerung zur Verfügung stellt. Die 803SC Ausstattung besteht aus einem Acht-Zoll-Wafer-Versorgungsmodul und einem Wafer-Behandlungssystem. Das Waferversorgungsmodul enthält eine hochpräzise horizontale Ofenkammer zusammen mit einer Stromversorgung, einer Evakuierungseinheit und einer Gasverteilmaschine. Das Gasverteilwerkzeug bietet die richtige Atmosphäre für die thermische Oxidation und ist für Temperatur, Druck und Strömung genau einstellbar. Die Waferbehandlungsanlage nutzt eine Kombination aus einem Gaskasten und einem nichtmagnetischen Isoliermodul sowie einem rotierenden Arm, einer X-Y-Waferplattform und einer RV-Spur, die sowohl eine Einzelwafer- als auch eine Chargenverarbeitung ermöglicht. TEL Alpha 803SC verfügt über eine Stromversorgung, die durch Steuerung der Leistung der Ofenkammer eine sehr gleichmäßige Erwärmung des Wafers ermöglicht. Darüber hinaus umfasst die 803SC ein Gasversorgungsmodell, das eine exakte Steuerung des für thermische Oxidationsprozesse wesentlichen Sauerstoffpartialdrucks ermöglicht. Der Ofen ist so konzipiert, dass er die genaueste Temperaturregelung bietet, um eine gleichmäßige Oxidation zu gewährleisten. Eine hitzebeständige feuerfeste Kammer und eine Zwangsluftkühleinrichtung halten ein gleichmäßiges Temperaturprofil über die gesamte Kammer. Das 803SC System ist auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Dazu gehören ein Temperaturkontrollsteuergerät, ein Sauerstoffmonitor/Alarm, ein Vakuummonitor/Alarm und ein Drucksicherheitsventil. Jedes dieser Bauteile soll den Bediener, den Wafer und die Kammer vor Beschädigungen oder Störungen im Falle eines unerwarteten Auftretens schützen. Als zusätzliche Sicherheit ist der Ofen auch aus fortschrittlichem korrosionsbeständigem Edelstahl konstruiert, der extremen Temperaturen und Chemikalien standhalten kann. Mit der 803SC Einheit sind Anwender in der Lage, eine enge Prozesskontrolle zu gewährleisten und konsistente, qualitativ hochwertige Ergebnisse zu liefern. Das 803SC eignet sich hervorragend für die Produktion von ICs in einer Vielzahl von Anwendungen, von Unterhaltungselektronik über Automobilprodukte bis hin zu medizinischen Geräten.