Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293622216 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SD Diffusionsofen ist entwickelt, um ausgezeichnete Produkteinheitlichkeit und spezialisierte Oxidations- und Diffusionsbedürfnisse zu bieten. Dieser Diffusionsofen kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Prozessen anzusteuern, einschließlich thermischer Oxidation und Diffusion, flacher Verbindungsbildung und Gateoxidbildung. TEL Alpha 803SD ist ein hocheffizienter, vertikaler Diffusionsofen mit einem breiten Prozessspektrum. Seine doppelte Kassette Shuttle-Design ermöglicht eine erhöhte Durchlaufzeit durch Verkürzung der Prozesszeiten und die Beseitigung der Notwendigkeit der manuellen Übertragung. Ein neu entwickeltes Einheitlichkeitskontrollsystem sorgt für eine effektive Uniformity Control (UC) durch Anwendung eines speziellen UC-Programms. TOKYO ELECTRON Alpha 803SD ist mit einem fortschrittlichen thermischen Steuerungssystem ausgestattet, das eine leistungsstarke Prozesssteuerung gewährleistet, ohne andere Prozesse zu beeinträchtigen. Die thermische Steuerung minimiert Schwankungen durch Veränderungen der Umgebungsbedingungen und sorgt für eine effiziente Prozesssteuerung. Darüber hinaus ermöglicht die Mehrbank-Einstellfunktion eine großflächige Verarbeitung und Kleinserienfertigung mit verbesserter Genauigkeit und ermöglicht effiziente und zuverlässige Prozesse. Alpha 803SD zeigt auch eine Niedrigtemperaturwärmebehandlungsfunktion, um vorzuherrschen, hat RTA und Niedrig-Thermalbudget gewünscht. Diese Wärmebehandlung bei niedriger Temperatur ermöglicht verbesserte Eigenschaften wie Oxidstöchiometrie, Kontrolle der dielektrischen/metallischen Grenzfläche und Oberflächenrauhigkeit. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SD kommt auch mit verschiedenen anderen Funktionen, wie chemische Quelle Back-Füllung, Gleis und Plattform Heizung, automatisierte chemische Pumpen, verschiedene I/O-Ports und Vakuum-Regenerationssysteme. Dieses vielfältige Leistungsspektrum ermöglicht eine höhere Flexibilität und Genauigkeit bei der Abwicklung einer Vielzahl von Prozessen. TEL Alpha 803SD Diffusionsofen ist ein fortschrittliches Produkt, das die anspruchsvollsten Anforderungen an den Diffusionsprozess erfüllt. Seine breite Prozessreihe und effiziente Steuerungen sichern Produktgleichförmigkeit, während seine Vielfachebank-Einstellung und niedrige Temperaturwärmebehandlungsfunktionen sie ein wesentliches Werkzeug machen, um verschiedene Prozessziele mit der hohen Genauigkeit zu erreichen.