Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803SD #293651970 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SD ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen und sein dazugehöriges Zubehör. Dieses System bietet eine genaue und zuverlässige Verarbeitung für eine breite Palette von Halbleiter- und optoelektronischen Materialien. Es wird in vielen Anwendungen wie CVD- und PVD-Verfahren, Kristallabscheidung oder Waferherstellung eingesetzt. TEL Alpha 803SD umfasst eine Vielzahl von Komponenten, die jeweils so konzipiert sind, dass Prozessparameter optimal bleiben. Seine Diffusion Warmwand Ofenkammer ist aus 21-4N Edelstahl gebaut, und seine Abmessungen bieten ein großzügiges Innenvolumen, das viel Substratfläche ermöglicht. Darüber hinaus haben die Decke und die Wände der Kammer eine umfangreiche Heizfläche, die gleichmäßige Temperaturprofile auf verschiedenen Substraten ermöglicht. Alle Operationen werden über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche gesteuert. TOKYO ELECTRON Alpha 803SDs Präzisionstemperaturbereich von bis zu 1.000 ° C kann an verschiedene Anwendungen angepasst werden. Die fortschrittliche Einheitlichkeitskontrolltechnologie wurde derweil entwickelt, um die Schwankungen zwischen den Temperaturzonen zu reduzieren und Hotspots zu verhindern. Darüber hinaus kann eine Vielzahl von Rezepten für die automatische Ausführung von Prozessen gespeichert werden, um eine konsistente Lieferung der gewünschten Ergebnisse zu gewährleisten. Alpha 803SD verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale, einschließlich unabhängiger Heizzonen und Gasventilverriegelungen. Es ist auch mit einem Zwangsluftkühlsystem ausgestattet und ist mit einer breiten Palette von Gas- und Prozessradikalen kompatibel. Sein modularer Charakter sorgt für einfache Wartung und Service, und seine robuste Konstruktion sorgt für einen zuverlässigen Betrieb und einen längeren Lebenszyklus. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803SD ein Hochleistungs-Diffusionsofen, der sehr zuverlässig und effizient ist und für viele Anwendungen geeignet ist. Sein modularer Aufbau ermöglicht eine einfache Installation und Wartung, während seine erweiterten Sicherheitsfunktionen einen sicheren Betrieb garantieren. Der große Temperaturbereich, die Gleichmäßigkeitsregelung und die große Kammer machen es ideal für viele Arten von Diffusionsprozessen.
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