Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293642578 zu verkaufen
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ID: 293642578
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Furnace, 8"
Process: TEOS
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 1/4" UJR / Utility box
TEOS / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS:100 V, Single Phase, 3 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C ist ein vielseitiger Diffusionsofen mit einer Reihe von Zubehör für eine breite Palette von Anwendungen. Es wurde entwickelt, um die genaueste Temperaturregelung in einem Standardpaket zur Verfügung zu stellen. TEL Alpha 805C ermöglicht präzise thermische Prozesse aller Substrate von 200 bis 1250 ° C mit hoher Gleichmäßigkeit über den Wafer. Es hat Oxidations-, LPCVD- und Rapid Thermal Processing-Fähigkeiten und kann mit Hochtemperatur-Stickstoff, Stickstofftrimethylborat (NTMBS), Ammoniak (NH3), Wasserstoff und Chlor ergänzt werden. TOKYO ELECTRON Alpha 805C Serie von Diffusionsöfen verfügen über ein innovatives Heizungswicklungssystem, das genaues Temperaturmanagement und Gleichmäßigkeit gewährleistet. Dieses System hilft, den Gasverbrauch durch eine bessere Temperaturregelung zu reduzieren und ist hocheffizient und bietet maximale Betriebstemperaturen für Oxidations- und LPCVD-Prozesse. Um die Gleichmäßigkeit der Temperatur zu maximieren, bieten zwei Gaszonen eine präzise Temperaturregelung über den Wafer. Das Design hilft auch, die Ofenatmosphäre zu kontrollieren und thermische Gefälle zu reduzieren. Alpha 805C wurde für einen schnellen und effizienten Betrieb entwickelt und ist in der Lage, hohe Durchsätze zu produzieren. Es hat eine schnelle Zykluszeit und kann große Produktionslose mit kurzen Zykluszeiten bewältigen. Aus Sicherheitsgründen ist der Ofen mit robusten Sicherheitssensoren ausgestattet, die Überstrom, Kurzschlüsse und Inkonsistenzen in Prozessgasen erkennen können. Mit seinem großen In-situ-Hybrid-Kohlenwasserstoffwäscher bietet TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C saubere Umgebung für einen sicheren und effizienten Betrieb. Der Ofen ist auch mit Kühlkondensatoroptionen ausgelegt und kann mit externen Abgasventilatoren ausgestattet werden, um die Temperaturschwankungen im Inneren zu reduzieren. Das 7-Segmente-Farbdisplay auf dem Bedienfeld gibt deutliche Hinweise auf den Zustand des Ofenbetriebs. TEL Alpha 805C ist auch in der Lage, mehrstufige Operations- und Prozessrezepturen zu erzeugen. TOKYO ELECTRON Alpha 805C ist eine ideale Option für große Serienanwendungen und bietet eine hervorragende Temperaturregelung, schnelle Durchlaufzeiten und überlegene Gleichmäßigkeit. Mit seinem anpassbaren Design und seiner Vielzahl an Funktionen können Benutzer ganz einfach an ihre genauen Anforderungen anpassen. Alpha 805C ist die perfekte Wahl für Diffusionsprozesse und hochpräzise thermische Prozesse.
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