Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805C #293756811 zu verkaufen

ID: 293756811
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Furnaces, 8" Type: LP-CVD Process: TEOS FUJIKIN Air valve VMM-35-001 Heater MFC, MFM: STEC Gases: PN2, O2, TEOS Operating panel Gas flow chart panel Panel switcher Hardware switches Floppy Disk Drive (FDD) Heater chamber Process tube (Reaction tube) Auto-door I/O Port Cassette transfer Stocker Transfer stage Wafer transfer Boat elevator Auto shutter Scavenger Cooling water unit Temperature controller Machine and pressure controller Boat stage (5) Fork Signal tower Manifold Display Power control system Gas unit Vacuum sensor ETC Power: 3 Phase, 208 VAC Single Phase, 100 VAC 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C ist ein Diffusionsofen mit einer Vielzahl von Zubehörteilen zum kontrollierten Erwärmen und Ätzen von Substraten. Die Hauptkammer wird unter Druck gesetzt und zur maximalen Genauigkeit und Kontrolle der Prozessbedingungen in zwei getrennte beheizte Zonen aufgeteilt. Die Hauptkammer ist mit zwei unabhängig voneinander steuerbaren Heizelementen ausgestattet, so daß in der Hauptkammer bzw. in der Hilfskammer zwei unterschiedliche Prozesstemperaturen eingehalten werden können. Die Hauptkammer weist zwei manuell verstellbare Regale und eine verstellbare Gaseinspritzöffnung auf. Die Hilfskammer weist einen manuell einstellbaren Drucksensor und ein Gasabgasrohr auf. TEL Alpha 805C Diffusionsofen wird durch eine einphasige Stromversorgung von AC 200V/220V oder 50/60 Hz angetrieben und ist mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet. Eine Übertemperaturwarnung LED-Anzeige und Buzzer warnen den Bediener bei anormalen Zuständen. TOKYO ELECTRON Alpha 805C verfügt über ein intuitives LCD-Display zur einfachen Verfolgung der Prozessbedingungen. Das Display verfügt zudem über Prozessrezept-Datenspeicherung und ermöglicht eine einfache Überwachung wichtiger Prozessparameter. Es bietet auch Präzisionstemperatur-Sollwerte und Temperaturerhaltung während des gesamten Prozesses, so dass genaue und konsistente Diffusionsbehandlungen möglich sind. Alpha 805C Diffusionsofen verfügt über mehrere Zubehörteile zum Ätzen und Abscheiden von dünnen Filmen. Dazu gehören Ätzkörbe zur Aufnahme von Substraten, Quarzauskleidungen zur Steuerung der Ätzrate und Hängestangen zur Einstellung des Abstandes zwischen den Substraten. Es kommt auch mit verschiedenen Gaseinlassarmaturen für Ätz- und Abscheidungsprozesse. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805C ist auch mit einer Vielzahl von Zubehör zur Überwachung und Steuerung des Ätzprozesses ausgestattet. Die Zubehörauswahl umfasst Sauerstoff- und Argongasdurchflussmesser und Regelventile, Thermoelemente sowie einen automatisierten PID-Regler. TEL Alpha 805C Diffusionsofen ist in der Lage, wiederholbare, hochpräzise thermische Behandlungen und Ätzprozesse. Es ist für den Einsatz in hochvolumigen, wiederholbaren Ätzprozessen konzipiert und eignet sich für den Einsatz in Hochvakuum-Prozessumgebungen. Dieser Diffusionsofen liefert zuverlässige und genaue Ergebnisse und kann in einer Vielzahl von Industrie-, Labor- und Bildungseinrichtungen verwendet werden.
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