Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622165 zu verkaufen

ID: 293622165
Weinlese: 1994
Diffusion furnace 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und sein Zubehör für den Einsatz in der Siliziumherstellung und verwandten Prozessen. Der 805CN ist ein Ultra-Tieftemperatur-Diffusionsofen, der eine extrem präzise Temperaturregelung, eine reduzierte Emissionsleistung und eine verbesserte Gleichmäßigkeit bietet. Das 805CN ist eine modulare Ausstattung mit 8 einzelnen Ofenstapeln, die jeweils unabhängig überwacht und betrieben werden können. TEL Alpha 805CN hat eine maximale Temperatur von 1350 ° C, mit einer Heizleistung von bis zu 18 kW. Die Diffusorkammer verfügt über eine eingebaute Gasversorgung und eine Abgasanlage, die eine präzise und effiziente Diffusion von Gasen wie Fluor und Sauerstoff sowie anderen speziellen Gasen wie Silikon ermöglicht. Es ist auch mit einer fortschrittlichen digitalen Kommunikationsschnittstelle für die Fernüberwachung ausgestattet. Das 805CN verfügt über ein innovatives Softwarepaket sowie eine leistungsstarke Steuereinheit, die eine ausgeklügelte Prozesssteuerung ermöglicht. Dazu gehören Temperaturoptimierung, Datenerfassung, automatisierte Steuerung und Alarmmanagement. Die leistungsstarke Steuerungsmaschine wurde entwickelt, um präzise und präzise voreingestellte Temperatureinstellungen zu ermöglichen und eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der gesamten Diffusionskammer sicherzustellen. Eine Vielzahl von Zubehör wird mit TOKYO ELECTRON Alpha 805CN geliefert. Das Trägermodul ist so ausgelegt, dass eine gleichmäßige Atmosphäre in der gesamten Kammer gewährleistet ist, wodurch die Gleichmäßigkeit des Diffusionsprozesses erhöht wird. Eine Vielzahl von Thermoelementen, Sensoren und Steckverbindern sind auch für genaue Temperaturmessungen und Steuerung vorgesehen. Die Diffusionskammer weist außerdem eine konvektionsreduzierende Abdeckung und einen Wärmestrahlungsschild auf, die dazu beitragen, thermische Energieverluste zu reduzieren, die Werkzeugeffizienz zu verbessern und die Partikelverschmutzung zu minimieren. Der 805CN Ofen kann auch mit zusätzlichem Zubehör wie Quarzboot und Glockenkühlstrahl verwendet werden, um eine gleichmäßige Kühlatmosphäre zu gewährleisten. Alpha 805CN ist ein vielseitiges Asset, das sich für eine Vielzahl von Diffusionsprozessen eignet. Sie eignet sich besonders für Anwendungen, die sehr niedrige Verarbeitungstemperaturen und eine extrem präzise Temperaturoptimierung erfordern. Mit seiner fortschrittlichen digitalen Kommunikationsschnittstelle und dem vielfältigen Zubehör ist das 805CN eine ausgezeichnete Wahl für die Siliziumherstellung und damit verbundene Prozesse.
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