Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293622217 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN ist ein Diffusionsofen zur Herstellung von Halbleitern. Es ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen wie thermische Oxidation, Siliziumnitridbildung und Kreuzungsoxidation. TEL Alpha 805CN ist ein Hochleistungs-Diffusionsofen mit einem vertikalen Quarzrohr, einem mechanischen Entwachsungsmechanismus in situ und einem optionalen Ofengaskrümmer. Das Quarzrohr ist hochbeständig gegen Verunreinigungen mit Siliziumscheiben und bietet eine hervorragende thermische und Prozesskontrolle. Das Rohr ist mit einem speziell geformten Eingang konzipiert, der von zwei Federn getragen und durch Duschelektroden beheizt wird, um eine bessere Gleichmäßigkeit zu fördern. Der Ofengaskrümmer bietet eine Gasflusssteuerung, die separate Abfall- und Einlassgase sowie separate Kühl- und Luftdrucksteuerungen ermöglicht. Es verfügt auch über eine unabhängige Schaltung der wichtigsten Abgas- und Recyclingsysteme. Der integrierte mechanische Entwässerer umfasst eine spezielle Waschanlage, die flüchtige Partikel und Verunreinigungen beseitigt. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN ist darüber hinaus mit TEL KVM-eXView (Know-how wertvolles und wartungsfreundliches eXtreme View) ausgestattet, so dass Betreiber den Waferstatus, die Prozessbedingungen und die Wartungsbedingungen lokal oder remote über den webbasierten Zugriff überwachen können. Der Ofen ist für eine einfache Installation in einer Vielzahl von Umgebungen ausgelegt. Weitere Merkmale von Alpha 805CN sind ein automatisches Nivellierschalen-Austauschsystem, eine einstellbare Öffnungsgröße und eine schwimmende Ladeeinheit, um die Prozesssicherheit zu optimieren. Der selektive Oxidationsprozess wird von TOKYO ELECTRON patentierter Uniformity Control (UC) Maschine gesteuert, die hilft, Stress und Defekte von Metallverdrahtungsschichten während der LPCVD-Prozesse zu reduzieren. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN hat eine breite Palette von Temperatur Gleichmäßigkeit und Ausbeute Lösungen. Es bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeitsleistung über eine breite Palette von Prozesstemperaturen, einschließlich Tieftemperaturprozesse. Es ist auch in der Lage, höhere Temperaturen über einen begrenzten Bereich unter Beibehaltung einer ausgezeichneten Gleichmäßigkeit zu handhaben. Der Ofen kann Temperaturen bis 1.200 ° C mit einer Gleichmäßigkeit von +/- 0,3 ° C/W aufrechterhalten. Insgesamt ist TEL Alpha 805CN ein leistungsfähiger und zuverlässiger Diffusionsofen, der sich ideal für die Herstellung von Halbleitern eignet. Es verfügt über ein robustes Design, ausgezeichnete thermische Gleichmäßigkeit und umfassende Steuerungsfunktionen. In Kombination mit seiner effizienten Abfallentsorgung und dem optionalen Gaskrümmer ist TOKYO ELECTRON Alpha 805CN die perfekte Wahl für jeden Halbleiterherstellungsprozess.