Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805CN #293651966 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN ist ein Diffusionsofen zur Maximierung der Effizienz. Dieser robuste und zuverlässige Ofen bietet eine einheitliche Temperaturregelung, schnelles Aufheizen und eine präzise Steuerung wichtiger Parameter. TEL Alpha 805CN eignet sich für verschiedene Diffusionsanwendungen wie epitaktisches Wachstum, Silizidation, Poly-Silizium-Abscheidung und Implantat. Dazu gehören ein effizientes, unregelmäßig geformtes Quarzrohr, ein Hochtemperaturdesign, ein Multi-Ion-Liner (MIL) Waferhalter und E-Temperatursensoren. TOKYO ELECTRON Alpha 805CN ist in der Lage, 1600 ° C in nur vier Minuten und gleichmäßige Temperaturregelung über die gesamte Waferoberfläche zu erreichen. Alpha 805CN unterstützt auch den SAGF (Substrate Assist Gas Flow) Prozess zur weiteren Gleichmäßigkeit bei der Temperaturregelung und bei der Abscheidung von Poly-Silizium. Der Multi-Zone MEL (Multi-Zone External Lift) verbessert ein gleichmäßiges Temperaturprofil sowie wiederholbare und kontrollierbare Wachstumsprozesse. Die Präzisionstemperaturregelung von TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN wird durch den Einsatz von Temperaturreglern erreicht; Temperatursensoren und thermische Sensortechnik. Die von TEL Alpha 805CN angebotenen E-Temperatursensoren können Temperaturen von niedriger als Raumtemperatur bis 1600 ° C messen. Dieser Ofen bietet auch die Möglichkeit, den Temperaturregler vom Typ L (Length) zu verwenden - ein flexibles, kostengünstiges und effizientes Gerät, das eine genaue Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit garantiert. Für einen Multi-Zone-Ansatz bietet TOKYO ELECTRON Alpha 805CN eine 4-Zonen-Segmentierung, die auch einfach angeschlossen und extern gesteuert werden kann. Dieser Ofen bietet auch verschiedene Optionen, um Ihr eigenes Rezept (e) für die Diffusion zu konfigurieren und zu entwerfen. Darüber hinaus bietet Alpha 805CN einen chemomechanischen Heber (CML), ein LIN-System (Low Internal Pressure) und mehrere Gasstromregelungsmöglichkeiten. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805CN bietet darüber hinaus folgende Sicherheitsmerkmale: einen Überlastschutzschalter, einen elektrischen Wiederverschluß, einen automatischen Niederdruckdetektor, einen automatischen Hochtemperaturdetektor, ein Notfallthermoelement und eine Luftkühlung für das Quarzrohr. Diese Merkmale gewährleisten einen sicheren Betrieb des Ofens und reduzieren potenzielle Risiken im Zusammenhang mit dem Diffusionsprozess. Insgesamt ist TEL Alpha 805CN eine effiziente Lösung für Metallisierung, Epitaxie und andere Diffusionsprozesse. Es ist gut mit den notwendigen Komponenten ausgestattet, um schnelle, effiziente und genaue Operationen für eine Vielzahl von Anwendungen zu ermöglichen.