Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293806762 zu verkaufen
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ID: 293806762
Furnace
Gas box
Exhaust box
Jig heater parts
(2) Pallets:
Heater
Quartz.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805D ist ein Diffusionsofen und Zubehör zur Herstellung von Halbleiterchips und anderen elektronischen Bauelementen. Es wurde entwickelt, um hohe Temperaturen und hohe Präzision für eine breite Palette von Anwendungen wie Dotieren, thermische Oxidation und Glühen zur Verfügung zu stellen. TEL Alpha 805D ist speziell für den Hochtemperaturbetrieb konzipiert und kann Temperaturen bis 1800 ° C erreichen. Seine Fähigkeit, Temperaturen genau zu reproduzieren, macht es ideal für Produktionsprozesse mit hohem Volumen. Das System ist mit einem Temperaturregler ausgestattet, der präzise hochwärmekonstante Fähigkeiten aufweist und eine gleichmäßige thermische Verteilung und thermische Gradienten innerhalb von ± 2 ° C ermöglicht, so dass der Ofen mit höchster Genauigkeit und Präzision arbeiten kann. TOKYO ELECTRON Alpha 805D kann für eine Reihe von Diffusionsoperationen verwendet werden, einschließlich Licht-Scission-Doping (LSD), Hochdruck-Nassoxidation (HPWO) und Niederdruck-Trockenoxidation (LPDO). LSD ist eine Form der Dotierung, die ein leichtes Gas verwendet, um chemische Reaktionen im Substratmaterial zu verursachen, was zu einer schnelleren Diffusionsrate und einem geringeren thermischen Budget führt. HPWO ist ein Oxidationsprozess, bei dem Hochdruck- und Naßoxidationsmittel wie Sauerstoff oder Ozongas verwendet werden, die in eine Lösung vorgemischt und dann in den Ofen gepumpt werden. Dies ermöglicht eine schnellere und effizientere Durchführung des Oxidationsprozesses als bei herkömmlichen Methoden. Schließlich ist LPDO ein trockener Oxydationsprozess, der einen Tiefdruck, niedriges Temperaturoxydationsbenzin wie Stickstoff verwendet, und ein niedrigeres Thermalbudget verwendet. Mit Alpha 805D lassen sich hochgleichmäßige, hochtemperaturdiffusionsverfahren mit hoher Präzision realisieren. Es wurde speziell für die Verwendung mit einer Vielzahl von Substraten und Materialien entwickelt, darunter SiC-Substrate, GaAs und GaN. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805D einfach in bestehende Systeme integriert und kann mit VSC-8300, VSC-3000 und VSC-1800 Steuergeräten für verbesserte Präzision und Steuerung integriert werden. TEL Alpha 805D verfügt außerdem über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen und -protokollen, einschließlich automatischer Abschalt- und Notfallfunktionen, um ein Höchstmaß an Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Zusätzlich ist der Ofen mit einer Edelstahl-Heizkammer und Inertgas atmoshere für überlegene Haltbarkeit und Schadensreduzierung gebaut. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Alpha 805D Diffusionsofen und Zubehör ein vielseitiges und zuverlässiges System, das eine Reihe von Funktionen bietet, die für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden können. Seine hohe Genauigkeit und Präzision sowie seine Sicherheit und Zuverlässigkeit machen es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung und Herstellung von elektronischen Bauelementen und Halbleiterchips.
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