Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805D #293820848 zu verkaufen
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ID: 293820848
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Diffusion furnace, 8"
Process: Dry Oxidation
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805D ist ein hochmoderner Diffusionsofen, der hauptsächlich in der Halbleiterindustrie für Verfahren wie thermische Diffusion und Oxidation eingesetzt wird. Diese hochmoderne Ausrüstung bietet fortschrittliche Fähigkeiten und präzise Steuerung, um qualitativ hochwertige Ergebnisse bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten zu erzielen. Herzstück von TEL Alpha 805D ist die Hochleistungsheizung, die eine gleichmäßige und kontrollierte Erwärmung von Siliziumwafern und anderen Substraten ermöglicht. Der Ofen ist mit mehreren Heizzonen ausgestattet, die jeweils unabhängig voneinander gesteuert werden, um eine gleichmäßige Temperatur über die Waferoberfläche zu gewährleisten. Dieses Merkmal ist entscheidend für die Erzielung konsistenter Dotierungsprofile und Oxidationsraten während des Diffusionsprozesses. TOKYO ELECTRON Alpha 805D wurde entwickelt, um verschiedene Prozessgase unterzubringen, darunter Dotierstoffgase wie Phosphin und Diboran, sowie oxidierende Gase wie Sauerstoff und Dampf. Der Ofen ist mit präzisen Massendurchflussreglern ausgestattet, um die Durchflussraten dieser Gase zu regulieren und eine genaue Steuerung der Dotierungs- und Oxidationsprozesse zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt der Ofen über ein hochreines Gasfördersystem, um die Integrität der Prozessgase zu gewährleisten und eine Verschmutzung der Wafer zu verhindern. Eine der Hauptstärken von Alpha 805D ist die fortschrittliche Steuereinheit, die es Anwendern ermöglicht, den Diffusionsprozess mit hoher Flexibilität und Präzision zu programmieren und zu überwachen. Der Ofen ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, mit der Bediener kundenspezifische Prozessrezepte einrichten, Temperaturprofile anpassen und Schlüsselparameter in Echtzeit überwachen können. Diese Steuerung ist wesentlich, um Prozessparameter zu optimieren und reproduzierbare Ergebnisse in der Halbleiterherstellung zu erzielen. Zusätzlich zu seinen Kerndiffusionsfähigkeiten kann TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805D mit einer Reihe von Zubehörteilen ausgestattet werden, um seine Funktionalität und Vielseitigkeit zu verbessern. Dieses Zubehör kann Quartzware-Komponenten wie Boote, Rohre und Liner für verschiedene Wafergrößen und Konfigurationen enthalten. Der Ofen kann auch mit automatisierten Wafer-Handling-Systemen für erhöhten Durchsatz und Effizienz in serienreichen Umgebungen integriert werden. TEL Alpha 805D ist mit Blick auf Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert und umfasst Funktionen wie Verriegelungen, Alarme und Notabschaltungssysteme, um Unfälle zu vermeiden und sowohl die Ausrüstung als auch die Betreiber zu schützen. Der Ofen ist mit robuster Konstruktion und hochwertigen Materialien gebaut, um langfristige Stabilität und Leistung auch unter anspruchsvollen Betriebsbedingungen zu gewährleisten. Insgesamt stellt TOKYO ELECTRON Alpha 805D eine hochmoderne Lösung für Diffusionsprozesse in der Halbleiterherstellung dar. Mit seiner fortschrittlichen Heizmaschine, einer präzisen Gassteuerung und ausgeklügelten Prozessautomatisierungsfunktionen bietet dieser Diffusionsofen Halbleiterherstellern die Werkzeuge, die sie benötigen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen, die Prozesseffizienz zu verbessern und die technologische Innovation in der Branche voranzubringen.
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