Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805DN #293622218 zu verkaufen

ID: 293622218
Weinlese: 1994
Diffusion furnace 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805DN ist ein Diffusionsofen und Zubehörpaket, das speziell für die Herstellung von Mikrochips entwickelt wurde. Dieses Paket ist eine Kombination aus einem Diffusionsofen, einer Abgasanlage und einer beheizten Umgebungsluftversorgung, wodurch Benutzer hochpräzise Prozesse wie Abscheidung, Oxidation, Glühen und Ätzen auf Präzisionsmikrochip-Substraten durchführen können. Der Diffusionsofen verfügt über ein vertikales Quarzrohr und einen Oberlader, um eine ausgezeichnete Wafer-Gleichmäßigkeit über Temperaturbereiche von 800 - 1250 ° C zu gewährleisten. Das leistungsstarke Gasmischsystem und die hohe Gleichmäßigkeit sorgen für eine enge Kontrolle von Film, Graben und Spaltätzen, während die Kantenisolierung auf dem Heizmodul und dem Quarzrohr die Oxidation von Materialien in der Nähe der Spankante verhindert. Die Auspuffanlage umfasst leistungsstarke Wurzelgebläse, einen einstufigen Wäscher und einen Entstaubungsfilter, der eine schnelle und effiziente Entfernung von Prozessgasen, Partikeln, Staub und Gefahrstoffen ermöglicht. Die beheizte Umgebungsluftversorgung ermöglicht es Anwendern, schnell die notwendige Umgebung für eine optimale Chipleistung zu schaffen. TEL Alpha 805DN wird von einem schlanken Bedienpult mit benutzerfreundlichen Touchscreen-Steuerungen für Temperatur-, Druck- und Gaseingänge betrieben. Die Maschine kann auch für wiederholbare Prozessabläufe programmiert werden, so dass Benutzer ein konsistentes, hochwertiges Produkt erstellen können. Darüber hinaus ermöglichen eingebettete Sensoren es Anwendern, Temperaturen, Drücke und Prozesszeiten zu überwachen und so jederzeit eine genaue und zuverlässige Leistung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Alpha 805DN ist für Produktionslinien mit hohem Durchsatz konzipiert und verfügt über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, darunter einen ausgeklügelten PID-Controller und ein Echtzeitprozessprotokoll, Schutzmechanismen zur Minimierung von Überhitzung und Überhitzung sowie Türen mit automatischen Verriegelungsmechanismen. Dieses Paket eignet sich für die anspruchsvollsten Diffusionsprozesse und ist eine ideale Serienlösung.
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