Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808D #9026275 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808D ist ein Diffusionsofen und Zubehör, das in der Halbleiterherstellung verwendet wird, um Dotierstoffe und andere Verunreinigungen zwischen Schichten eines Substrats zu bewegen. TEL Alpha 808D Diffusionsofen bietet überlegene Wärmemanagementfunktionen für Hochdurchsatzprozesse wie Oxidation, Vorreinigung und Epitaxie. Der Ofen ist in drei Modulkonfigurationen erhältlich: Einzel-, Doppel- und Dreifachmodule. Das Einzelmoduldesign eignet sich für den Einsatz in Mittel- bis Niederserienszenarien. Die Module Double und Triple bieten die notwendige Flexibilität und Skalierbarkeit, um den Produktionsanforderungen gerecht zu werden. TOKYO ELECTRON Alpha 808D bietet vertikale Konstruktion mit mehreren integrierten Öfen. Der Ofen bietet bis zu 18 beheizte Zone und fünf Massenstromregler (MFCs) und Temperaturregelung. Die kombinierte Leistungsregelung ermöglicht einen breiteren Temperaturbereich für jede Zone mit einer maximalen Temperatur von 2.000 ° C. Die integrierte Systemlatenzzeit von 3 msec hilft Verluste zu reduzieren und eine verbesserte Temperatur und Partikelgleichförmigkeit zu erreichen. Alpha 808D Diffusionsofen verwendet ein branchenübliches Design für Schnittstellen und Protokolle. Dies ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Prozesswerkzeuge und Systeme. Die gehäusebasierte Architektur erleichtert die einfache Installation und Wartung. Der Ofen ist für bis zu 65 kg Belastung ausgelegt, mit der Möglichkeit, die Tragfähigkeit mit einem optionalen bodenseitigen Heizelement zu erhöhen. Es kann auch eine Vielzahl von Substratgrößen wie 200mm, 150mm und 125mm Durchmesser aufnehmen. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808D Diffusionsofen entspricht den neuesten Sicherheitsstandards und bietet eine schützende Umgebung für den Benutzer und das System. Ein breites Spektrum an zusätzlichen Funktionen wie Prozessverfolgung, Abgasrückkopplungsüberwachung, Pixelprofilierung und Kontaminationskontrolle stehen im System zur Verfügung. Insgesamt bieten TEL Alpha 808D Diffusionsofen und das dazugehörige Zubehör eine zuverlässige, effiziente und kostengünstige Möglichkeit, Prozesse mit hohem Durchsatz zu verarbeiten. Es bietet eine verbesserte Temperaturgleichförmigkeit und Partikelgleichförmigkeit sowie hervorragende Wärmemanagementfunktionen, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Mittel- bis Hochserienproduktion macht.