Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Z #9083658 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SC-Z ist ein Diffusionsofen mit einer Vielzahl von Zubehör zur Unterstützung der Waferbearbeitung ausgestattet. Dieser Diffusionsofen ist ein Upgrade auf das beliebte Alpha 808SC Modell. Es verfügt über eine verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit und Waferkontakt, so dass es ideal für epitaktisches Wachstum und die anspruchsvollsten thermischen Prozesse. Der Ofen ist mit einer vertikalen Struktur und einer Auswahl von zwei kontrollierten Atmosphären ausgelegt: N2 (Stickstoff) oder gemischte N2/H2 (Stickstoff/Wasserstoff). Der Temperaturbereich beträgt 50 bis 1000 ° C, und die maximale Temperaturfähigkeit kann mit einem optionalen Graphitsensizeptor und einer Heizung über 1000 ° C erweitert werden. Die hohe Temperaturfähigkeit macht diesen Diffusionsofen gut geeignet für fortschrittliche Geräteentwicklungsprozesse wie High-K-Dielektrika und Metalltore. Der wesentliche Vorteil dieses Diffusionsofens ist seine Fähigkeit, gleichzeitig acht 6 "quadratische Wafer in 4x2-Konfiguration aufzunehmen. Es verfügt über eine hochpräzise Positionierung für einen zuverlässigen endothermen Gasfluss, und die Temperaturgleichförmigkeit kann über den gesamten Ofenbereich eingestellt werden. Weitere Merkmale sind Kassetten und Waferhalter mit eingebauten Temperaturmessfähigkeiten und eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie ein eingebautes Stickstoffspülsystem zum Schutz vor Oxidation. Darüber hinaus unterstützt der Diffusionsofen die Online-Überwachung und Datenerfassung mit seiner SECS/GEM-konformen Software. So kann der Bediener den gesamten Prozess effizient verwalten, vom Ofenaufbau bis zur Waferbearbeitung. TEL Alpha 808SC-Z Diffusionsofen ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für die Waferbearbeitung. Es bietet überlegene Temperaturgleichmäßigkeit, verbesserten Waferkontakt und kann eine Vielzahl von Substraten und Prozessgasen aufnehmen. Mit seiner hochpräzisen Temperaturregelung, den High-End-Sicherheitsmerkmalen und der SECS/GEM-konformen Software ist dieser Diffusionsofen eine ausgezeichnete Wahl für die fortschrittliche Geräteentwicklung.