Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097247 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN ist ein Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Ionenimplantations-Diffusionsofen mit einer einstufigen Gleichstrom (DC) -planaren Magnetronquelle. Dieses leistungsstarke Werkzeug kann verwendet werden, um dünne Filme aus verschiedenen Materialien wie Aluminium, Kieselsäure und Nitrid für alle Arten von elektronischen Anwendungen abzuscheiden. Es ist mit zwei Seiten Schlitzverschluss gesteuerte planare Pistole ausgestattet, für Polarisation unabhängige Gleichförmigkeitssteuerung und Energiemodulation, was zu einer genaueren und effizienteren Schichtabscheidung. TEL Alpha 808SCN ist eine Standardplattform für alle ECR-Ionen-Implantations-Diffusions-/Sputtersysteme mit vollständiger manueller und automatischer Steuerung einer großen Anzahl von Parametern. Es verfügt über ein 6-Zonen-Temperaturregelsystem, mit dem die Substrattemperatur während der Filmabscheidung geregelt werden kann, sowie zwei zusätzliche Druckregelzonen zur Optimierung des Diffusionsprozesses. Alle Operationen können über eine einfach zu bedienende, aber leistungsstarke Benutzeroberfläche verwaltet werden. Die Maschine ist für die Waferbearbeitung bis zu 8-Zoll (203,2 mm) Wafer mit einem maximal verfügbaren Gasdruck von 1000 mbar ausgelegt. Es bietet auch eine Gasspülfähigkeit, die es dem Benutzer ermöglicht, eine Gasspülung in die Abscheidekammer einzuführen, für eine verbesserte Sicherheit und Leistung. Darüber hinaus ist es in der Lage, Deuterium und Stickstoff zur Anpassung von Abscheidungsprozessen zu verwenden, so dass spezialisierte Metalloxide hergestellt werden können. TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN ist ein äußerst genaues und präzises Werkzeug, das hochauflösende Ionen-Implantationsprozesse mit einem im Vergleich zu herkömmlichen Werkzeugen überlegenen Leistungsniveau bietet. Es hat sich auch als ein effizientes Produktionswerkzeug erwiesen, das eine automatische Ein-/Auslauffunktion aufweist, die einen hohen Durchsatz und schnelle Umlaufzeiten ermöglicht. Alpha 808SCN ist ein vakuumkompatibles, isoliertes ECR-einstufiges DC-planares Magnetronquellen-Diffusions- und Sputterwerkzeug, das die neuesten technologischen und Prozessanforderungen für alle Ihre Diffusions- und Sputteranforderungen erfüllt. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einem der führenden Diffusionsöfen, die heute verfügbar sind.