Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083539 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD
ID: 9083539
Weinlese: 1994
Furnaces 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SD ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das eine gleichmäßige, hochpräzise Dotierung von Halbleiterscheiben ermöglicht. Das Grunddesign von TEL Alpha 808SD besteht aus einer Hochtemperatur-Thermokammer, zwei Elektronenstrahlpistolen und einer Hilfsgasverteilerausrüstung. Dieser Ofen ist in der Lage, in einem weiten Bereich von Temperaturen bis zu einem Maximum von 1.100 ° C zu arbeiten. Der Ofen kann Proben von bis zu 4 "Durchmesser erhitzen und kann bis zu 999 Zyklen mit einer Zykluszeit von 10 Minuten oder weniger durchführen. Die beiden Elektronenstrahlkanonen sind das Bauelement, das für eine gleichmäßige und präzise Dotierung der Halbleiterscheiben verantwortlich ist. Die Geschütze können unabhängig oder synchron arbeiten und mit einer Genauigkeit von bis zu +/- 10 V niedrige, mittlere oder hohe Elektronenstromstärken erzeugen. Die Elektronenstrahlkanonen werden ferner durch das Nebengasverteilungssystem unterstützt, das einen Molekülstrahl zur präzisen Applikation und Dosierung verschiedener Dotierstoffgase in den Ofen erzeugt. Das Design verfügt auch über eine ausgeklügelte Vakuumeinheit, die eine flüssige stickstoffgekühlte Kryopumpe sowie automatisierte Gasfluss- und Temperaturregelungssysteme zur präzisen Steuerung von Gasfluss und Temperatur umfasst. Schließlich beinhaltet TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD auch eine ausgeklügelte Rückkopplungssteuerungsmaschine. Dadurch wird die räumliche Energieverteilung des Elektronenstrahls geregelt, was eine präzise Kontrolle des Probendotierungsprozesses ermöglicht. Abschließend ist TOKYO ELECTRON Alpha 808SD ein fortschrittlicher und präziser Diffusionsofen und zugehöriges Zubehör, das eine gleichmäßige, hochpräzise Dotierung von Halbleiterscheiben ermöglicht. Dieses Werkzeug verfügt über eine Hochtemperatur-Thermokammer, zwei Elektronenstrahlkanonen und eine zusätzliche Gasverteilungsanlage, die alle einen präzisen und kontrollierten Dotierungsvorgang ermöglichen. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD auch über ein ausgeklügeltes Regelmodell, das die räumliche Energieverteilung des Elektronenstrahls reguliert.
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