Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092855 zu verkaufen
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ID: 9092855
Wafergröße: 8"
Furnace, 8"
Process capability: Pyro
Zones: 5
Process gases: N2, H2, O2, DCE
Controller model: TS4000
Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater
CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA ist ein fortschrittlicher Diffusionsofen und ein spezielles Zubehör, das bei der Herstellung von Halbleiterscheiben verwendet wird. Dieser Diffusionsofen verwendet eine druckarme Dampfabscheidungstechnik (LPCVD), wobei eine speziell ausgebildete Kammer und ein Heizelement verwendet werden, um Siliziumschwankungen in die Oberfläche des Wafers einzubringen. Das Alpha- 81-ZE besteht aus einer einzigen Kammer, einem Heizelement, einem Vakuumsystem und einer Vielzahl von Steuerungen und Stromversorgungen. Die einzelne Kammer ist zylindrisch ausgebildet und besteht aus Edelstahl mit einer speziellen Innenfutter zur Vermeidung von Verunreinigungen. Die Beheizung der Kammer erfolgt durch ein induktives Heizelement, das ein hochfrequentes Induktionsverfahren verwendet. Dieses Induktionsheizelement weist zudem einen einstellbaren Temperaturbereich von 600 ° C bis 1300 ° C zur präzisen Steuerung des Diffusionsprozesses auf. TEL Alpha 81-ZA wird von einem Vakuumsystem betrieben, das das Einleiten verschiedener Gase in die für den Diffusionsprozess notwendige Kammer steuert. Das Vakuumsystem steuert auch den Druck der Kammer, der für optimale Ergebnisse auf einem bestimmten Niveau gehalten werden muss. Darüber hinaus werden eine Vielzahl von Steuergeräten und Netzteilen verwendet, um den Diffusionsprozess bei Bedarf genau zu überwachen und anzupassen. Um eine Qualitätsleistung zu gewährleisten, verfügt TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA auch über verschiedene Sicherheitsmaßnahmen. Dazu gehören Temperatursensoren, Drucksensoren sowie Überdruck- und Vakuumventile, um sichere Bedingungen zu gewährleisten. Alpha 81-ZA beinhaltet auch redundante Steuerungen, um sicherzustellen, dass der Diffusionsprozess ständig überwacht und kontrolliert wird. Als zusätzlichen Bonus bietet TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA auch ein spezielles Zubehör, das seine Leistung verbessert und anpasst. Dieses Zubehör umfasst Zubehör für Luftreinigung, vorbeugende Wartung, Ersatzteile, Fertigungswerkzeuge sowie Mess- und Analysegeräte. Jedes dieser Zubehörteile sorgt dafür, dass TEL Alpha 81-ZA auf seinem optimalen Niveau funktioniert und qualitativ hochwertige Halbleiterscheiben produziert. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA ein fortschrittlicher Diffusionsofen und ein spezielles Zubehör, das bei der Herstellung von Halbleiterscheiben verwendet wird. Dieser Diffusionsofen verwendet eine LPCVD-Technik (Low-Pressure-Vapor Deposition) und ist mit einer Vielzahl von Steuerungen, Stromversorgungen, Sicherheitsmaßnahmen und spezialisiertem Zubehör ausgestattet. Dieser Ofen und die vielen Zubehörteile bietet eine effektive und zuverlässige Lösung für den Halbleiter-Wafer-Produktionsprozess.
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